Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов. Ежовский Ю.К - 10 стр.

UptoLike

При высоковольтном диализе диффузию осуществляют в электри-
ческом поле при напряженности поля около 250 В/см и токе в доли ампера,
используя полупроницаемую перегородку. Диализом очищают оксиды
кремния, титана, магния.
Наилучшие результаты достигаются при использовании комплекса
различных методов.
1.4. Характеристика химических методов очистки
При использовании химических методов разделения и очистки ве-
ществ
как правило идут по пути образования промежуточных соединений
основного вещества или примеси, которые сравнительно легко разделяют-
ся иными способами (фильтрование, центрифугирование, отгонка). Такими
соединениями могут быть хлориды, гидриды или элементорганические со-
единения примеси или основного вещества, различие в физико-химических
свойствах которых позволяет провести их разделение. Примером могут
служить методы
избирательного окисления или восстановления примеси
или очищаемого вещества. Так, например, разделение циркония и гафния
или очистка тетрахлорида германия от мышьяка. В первом случае, трудно
разделяемую смесь тетрахлоридов циркония и гафния подвергают терми-
ческой обработке с порошком циркония:
ZrCl
4
+ HfCl
4
+Zr ZrCl
3
+ HfCl
4
.
Полученная смесь трихлорида циркония и тетрахлорида гафния
достаточно легко разделяется вакуумной возгонкой. При очистке германия
от мышьяка смесь GeCl
4
и AsCl
3
обрабатывают хлором для перевода As
3+
в
As
5+
. Далее осуществляют экстракцию пентахлорида мышьяка концентри-
рованной соляной кислотой, в которой его растворимость значительно
лучше, чем тетрахлорида германия.
При образовании галогенидов как промежуточных соединений
обычно используют летучие галогениды, под которыми подразумевают га-
логениды, имеющие давление насыщенного пара при 500 К более 10
3
Па.
- 10 -