Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов. Ежовский Ю.К - 9 стр.

UptoLike

Все методы очистки можно условно разделить на пять групп в зави-
симости от физико-химического принципа, лежащего в основе метода.
1. Методы, основанные на различной растворимости примесей в двух
соприкасающихся фазах. Это наиболее широко применяемая группа мето-
дов. Сюда входят жидкостная экстракция и кристаллизация из расплава
(направленная кристаллизация и зонная перекристаллизация
).
2. Методы, основанные на различиях в сорбционных характеристиках
веществ. К этой группе относятся: адсорбционные методы, ионный обмен,
хроматография.
3. Группа методов, основанных на различной упругости паров примеси
и очищаемого вещества. Это дистилляционные, ректификационные и суб-
лимационные методы.
4. Химические методы разделения веществ основаны на различии в
константах равновесия или константах скоростей реакций
с участием ос-
новного вещества и примеси. На химических методах разделения смесей
основаны классические методы химического анализа.
5. Методы, основанные на различии в диффузионных характеристиках
компонентов смеси. Сюда входят высоковольтный диализ и термодиффу-
зия. Эффективность разделения этими методами определяется отношени-
ем скоростей диффузии компонентов А и В (V
A
и V
B
):
A
B
A
B
B
A
M
M
V
V
ρ
ρ
, (1.6)
где
ρ
Α
,
ρ
B
, M
А
,М
В
-
плотности и молекулярные веса
соответственно компо-
нентов А и В.
Термодиффузия используется для разделения газообразных веществ
и зависит от градиента температуры. Обычно ее проводят в специальных
вертикальных колонках (трубках), в центре которых помещается нагревае-
мая проволока, а стенки охлаждаются водой. Легкие молекулы концентри-
руются в горячей зоне и подхватываются восходящим потоком, а тяже-
лые - в
холодной и попадают в нисходящий поток.
- 9 -