Составители:
39
Скопируйте расчетные данные в отчет.
5. Закройте окно "Промежуточные значения" и нажмите кнопку "ОК"
на панели "Величины" для построения графика (рис. 3.4).
Нажмите "Настройка" и в выпавшем меню выберите "Настройка гра-
фика". В открывшемся окне путем подбора масштаба по осям "Х" и "У"
добейтесь оптимального изображения графика в линейном масштабе
(рис. 3.5).
6. В окне "Настройка графика" установите флажок "Логарифмическая
шкала" (по оси У) и нажмите "ОК" для построения графиков в полулогариф-
мическом масштабе (рис. 3.6).
7. Выключите компьютер.
4. ОФОРМЛЕНИЕ ОТЧЕТА
Отчет должен содержать: постановку задачи исследования; табли-
цы результатов расчетов; графики распределения примеси в полупро-
водниковой пластине для t
1
, t
2
и t
3
; анализ полученных данных.
5. КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ
1. Какие существуют методы введения примеси в полупроводник?
2. Какие параметры процесса входят в первый закон Фика?
3. Какие параметры процесса связывает второй закон Фика?
4. Какую зависимость имеет распределение примеси при диффузии
из постоянного источника?
5. Какую зависимость имеет распределение примеси при диффузии
из бесконечно тонкого слоя?
6. Какую зависимость имеет распределение примеси при диффузии
из полубесконечного тела в полубесконечное?
7. Каков вид зависимостей erf z и erfc z ?
8. Какие параметры учитывают при выборе диффузианта?
9. Какие существуют механизмы диффузии?
10. Как осуществляется локальное введение примеси при диф-
фузии?
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 37
- 38
- 39
- 40
- 41
- …
- следующая ›
- последняя »
