Составители:
40
Лабораторная работа № 4
ИССЛЕДОВАНИЕ И ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ
СВАРКИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
Цель работы: изучение способа сварки элементов интегральных мик-
росхем на установке контактной сварки "ЭМ-4092" и исследование проч-
ности микропроволочных соединений.
1. МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ ПО ПОДГОТОВКЕ
К РАБОТЕ
Содержание работы: уяснить поставленную задачу, ознакомиться с
методом сварки элементов микросхем с помощью расщепленного элек-
трода, разработать программу исследований и методику их проведе-
ния, обоснованно выбрать оптимальный режим сварки.
Основные теоретические сведения
Одной из важных и сложных задач при изготовлении микросхем
является выполнение внутренних соединений проволочных выводов с
контактными площадками (КП) на плате и с выводами корпуса микро-
схемы [2, 4, 5]. Контактные площадки представляют собой тонкие (тол-
щиной 0,3–1,0 мкм) металлические пленки на полупроводниковой или
диэлектрической подложке. Непосредственное присоединение толстых
выводов, с помощью которых микросхема монтируется на печатные
платы, к КП затруднительно, поэтому используются промежуточные
тонкие проводники (толщиной 20–50 мкм), которые легче удается со-
единить как с КП, так и с выводами корпуса.
Контактирование с пленками имеет свои особенности, связанные с
малой толщиной пленки, малой ее прочностью, очень большим соотно-
шением толщин пленка–проводник (оно достигает 1/20 и более). Кроме
того, необходимо учитывать наличие изоляционной подложки, малые
размеры контактных площадок, относительно слабое сцепление пленок
с подложкой. Количество внутренних соединений "проводник–пленка" в
современных гибридных микросхемах (микросборках) тоже значитель-
но. Наличие таких соединений существенно снижает надежность мик-
росхемы в целом. Результаты исследований указывают на преоблада-
ющее влияние в отказах микросхем именно контактных соединений. В
этой связи очень большое значение в производстве микросхем имеет
правильный выбор способа присоединения контактирующего проводни-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 38
- 39
- 40
- 41
- 42
- …
- следующая ›
- последняя »
