Изучение электрофизических параметров полевого МДП транзистора. Гардин Ю.Е - 13 стр.

UptoLike

Используются следующие исходные данные: тип канала, значение напряжения обрат-
ного смещения V
r
, начало, конец, грубый и точный шаг по диапазону V
b
. Конечным резуль-
татом является получение одиночной кривой I
cp
(V
b
).
Процедура измерения кривых зарядовой накачки включает в себя несколько этапов:
1) обзорный режим (поиск области существования тока зарядовой накачки);
2) уточнение границ найденной области (движение по V
b
с уменьшенным шагом в
двух поддиапазонах нарастания и спада тока I
cp
);
3) измерение частотной зависимости в максимуме I
cp
(при различных значениях час-
тоты пилообразного напряжения, подаваемого на структуру в этом режиме). Зна-
чение амплитуды пилообразного напряжения (V
a
) зафиксировано.
Расчет параметров транзистора по данным измерений
Совокупность расчетных процедур оформлена как отдельный модуль программы и
позволяет осуществлять обработку файлов данных передаточных характеристик и данных
метода зарядовой накачки. Набор параметров, для которых должен производиться расчет,
определяет пользователь из предложенного списка.
К числу рассчитываемых параметров относятся:
1). Пороговое напряжение V
T
;
2). Обратный наклон подпороговой характеристики S
dV
dI
g
d
=
(lg )
;
3). Крутизна передаточной характеристики g
dI
dV
m
d
g
= max( ) , VV
gt
;
4). Эффективная подвижность носителей в канале транзистора
µ
eff
m
ox d
g
CV
=
;
5). Напряжение плоских зон V
fb
;
6). Величина средней плотности граничных состояний D
it
.
Величина V
T
может быть найдена как из передаточной характеристики, так и из кри-
вой зарядовой накачки. В программе используются оба способа. В первом случае выбирается
надпороговая область на кривой I
d
(V
g
), которая была измерена с минимальным шагом. В
этой области строится последовательность аппроксимирующих прямых для заданного коли-
чества точек в координатах IV
dg
(). Число таких прямых определяется общим количеством
точек в анализируемой области, интервалом выборки для аппроксимации и шагом, с кото-
рым следуют выборки. Из полученных прямых выбирается та, которая имеет минимальное
      Используются следующие исходные данные: тип канала, значение напряжения обрат-
ного смещения Vr, начало, конец, грубый и точный шаг по диапазону Vb. Конечным резуль-
татом является получение одиночной кривой Icp(Vb).
      Процедура измерения кривых зарядовой накачки включает в себя несколько этапов:
      1) обзорный режим (поиск области существования тока зарядовой накачки);
      2) уточнение границ найденной области (движение по Vb с уменьшенным шагом в
          двух поддиапазонах нарастания и спада тока Icp);
      3) измерение частотной зависимости в максимуме Icp (при различных значениях час-
          тоты пилообразного напряжения, подаваемого на структуру в этом режиме). Зна-
          чение амплитуды пилообразного напряжения (Va) зафиксировано.
Расчет параметров транзистора по данным измерений
      Совокупность расчетных процедур оформлена как отдельный модуль программы и
позволяет осуществлять обработку файлов данных передаточных характеристик и данных
метода зарядовой накачки. Набор параметров, для которых должен производиться расчет,
определяет пользователь из предложенного списка.
      К числу рассчитываемых параметров относятся:
1). Пороговое напряжение VT;
                                                           dVg
2). Обратный наклон подпороговой характеристики S =                   ;
                                                        d (lg I d )

                                                     dI d
3). Крутизна передаточной характеристики gm = max(        ) , Vg ≥ Vt ;
                                                     dVg

                                                                           gm
4). Эффективная подвижность носителей в канале транзистора µeff =               ;
                                                                          CoxVd

5). Напряжение плоских зон Vfb;
6). Величина средней плотности граничных состояний Dit .
      Величина VT может быть найдена как из передаточной характеристики, так и из кри-
вой зарядовой накачки. В программе используются оба способа. В первом случае выбирается
надпороговая область на кривой Id(Vg), которая была измерена с минимальным шагом. В
этой области строится последовательность аппроксимирующих прямых для заданного коли-
чества точек в координатах     I d (Vg ) . Число таких прямых определяется общим количеством

точек в анализируемой области, интервалом выборки для аппроксимации и шагом, с кото-
рым следуют выборки. Из полученных прямых выбирается та, которая имеет минимальное