Задания к курсовой работе по курсу "Математическое моделирование" (специальность 200800 "Проектирование и технология радиоэлектронных средств"). Иванцов В.В. - 5 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

Вариант 3
Построить одномерную математическую модель процесса окисления кремния в
заданной среде.. Аналитическая модель имеет вид:
)11(
2
−⋅+= tC
С
B
x , (1)
где х – толщина окисла (мкм), t – время окисления, В и С – коэффициенты, зависящие от
среды окисления и температуры.
Аналитические зависимости коэффициентов В и С от температуры имеют вид
);exp(
1
0
T
b
bB −=
).exp(
1
0
T
c
cC −=
(2)
Значения параметров b
0
, b
1
, c
0
, c
1
неизвестны. Экспериментальные зависимости В, С от
температуры при окислении в кислороде и в парах воды приведены в таблицах.
Коэффициент B в зависимости от температуры
T, °С
Среда
1200 1100 1000 900 800 700 600
Кислород 0,05000 0,03000 0,01200 0,00400 0,00100 0,00025 0,00010
Пары воды 0,75000 0,55000 0,36000 0,20000 0,10000 0,04000 0,01500
Коэффициент С в зависимости от температуры
T, °С
Среда
1200 1100 1000 900 800 700 600
Кислород 1,00000 0,30000 0,09000 0,02000 0,00500 0,00050 0,00005
Пары воды 12,00000 7,00000 1,70000 0,40000 0,07000 0,00800 0,00050
Порядок выполнения работы
1. Определить значения b
0
, b
1
, c
0
, c
1
методом наименьших квадратов. Задачу решить
методом сведения к задаче одномерного линейного регрессионного анализа.
2. Построить графики зависимостей В(Т) и С(Т), нанеся на них теоретические кривые и
экспериментальные точки.
3. Построить графики зависимости толщины окисла от времени при различных
значениях температуры окисления. Диапазоны времени и значения температур приведены в
вариантах данных.
Пояснительная записка к курсовой работе оформляется индивидуально каждым
студентом на листах формата А4 и должна содержать исходные данные, решение задачи,
промежуточные и конечные результаты. На титульном листе указываются: университет,
кафедра, название курса, № варианта, кто выполнил (группа, ФИО студента), кто проверил
(должность, ФИО преподавателя), год. Вычисления и построение графиков производятся в
среде пакета программ MathCAD. Все графики должны быть представлены в виде гладких
кривых; экспериментальные данные наносятся на графики в виде специальных маркеров
(ромбов, квадратов и т.п.).
Исходные данные к варианту 3
№вар. Среда
Интервал
времени, с
Значения
температур, °С
3.1 Кислород 0 - 500 650, 750, 850
3.2 Пары воды 0 - 700 700, 880, 1000
3.3 Кислород 0 - 1200 900, 1000, 1100
3.4 Пары воды 0 - 1500 500, 600, 700
3.5. Кислород 0 - 1000 700, 900, 1100

Страницы