ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
накоплением отрицательного заряда в диэлектрике, что проявляется в сдвиге порогового напряжения МДП-
транзистора в сторону положительных потенциалов.
Подобное излучение (УФ кванты с энергией ближнего спектра) в МДП-структуре распространяется в
слое подзатворного окисла, который служит для него световодом, и направлено вдоль границы раздела
окисел-полупроводник. Оно вызывает надбаръерную фотоэмиссию электронов из валентной зоны подложки
в зону проводимости окисла. Инжектируемые электроны нейтрализуют положительно заряженные центры
электронного захвата в подзатворном диэлектрике, что приводит к сдвигу радиационно - измененных Q
0t
в
сторону положительных потенциалов вплоть до исходных значений . Следует отметить , что воздействие УФ
ближнего спектра не изменяет зарядового состояния диэлектрика, не подвергшегося радиационной
обработке, а процесс УФ -релаксации радиационно -индуцированного заряда в МДП-структуре не влияет на
его термостабильность .
5.Численное моделирование релаксационных процессов в облученной структуре металл-диэлектрик -
полупроводник
Туннельный механизм разрядки накопленного заряда в слое диэлектрика описывается решением
уравнения (15):
P(x,t)P(0,t)exp(exp(x)t)
t
=⋅−⋅−⋅⋅αβ,
(16)
где
α
и
β
- частотный и барьерный факторы , соответственно (ασ≡ h /16m
*
p
); β≡⋅m2
*
t
∆E/h ;
∆E
t
- высота барьера, m
*
- эффективная масса электрона.
Процесс термического отжига захваченного заряда описывается решением уравнения (20) и имеет вид:
t))kTEexp(ATexp(,0)P(Et),(EP
t
2
ttt
⋅−⋅−⋅=
, (21)
где T – абсолютная температура, k – константа Больцмана, E
t
– энергия дырочного центра, A –
феноменологический параметр , который зависит от природы дырочного центра. Процесс релаксации
накопленного радиационно - индуцированного заряда под действием УФ излучения описывается следующей
системой уравнений :
(
)
()
ERG
x
En
μ
x
n
D
t
n
nuvn
2
2
n
−+
∂
⋅∂
+
∂
∂
=
∂
∂
,
(27)
нако п лением о т
рицат
ельно го заря давдиэлектрике, что п ро я вляет
ся всдвиг
е п о ро гово г
о нап ряжения М Д П -
транзист
о ра всторо нуп о ло ж ит
ельны х п о тенц иало в.
П о до бно е излучение (У Ф кванты с энерг
ией ближнего сп ектра) в М Д П -ст
руктуре расп ро страняет
ся в
сло е п о дзат
во рно го о кисла, ко торый служ итдля нег
о светово до м, и нап равлено вдо ль г
раниц ы раздела
о кисел-п о луп ро во дник. О но вызы ваетнадбаръ ерную фо тоэмиссию элект
ро но визвалентно й зо ны п о дло жки
в зо нуп ро во димо сти о кисла. И нжект
ируемые электро ны ней трализую тп о ло жит
ельно заря женные центры
электро нно г
о захвата в п о дзатво рно м диэлектрике, что п риво дитк сдвиг
урадиац ио нно -измененны х Q0t в
сторо нуп о ло жит
ельны х п о тенциало ввп ло т
ьдо исхо дны х значений . Следуето тметить, что во здей ствие У Ф
ближнег
о сп ектра не изм еня ет заря до во г
о со стоя ния диэлектрика, не п о двергшег
о ся радиацио нно й
о брабо т
ке, ап ро цесс У Ф -релаксац ии радиац ио нно -индуциро ванно г
о заря да в М Д П -структуре не влия етна
ег
о т
ермо ст
абильно сть.
5.Ч исл ен н ое модел ирован ие рел аксацион н ых процессов в обл уч ен н ой структуре метал л -диэл ектрик-
пол упроводн ик
Т уннельный механизм разрядки нако п ленно г
о заря да в сло е диэлектрика о п исы вает
ся решением
уравнения (15):
Pt (x, t) = P(0, t) ⋅ exp( − α ⋅ exp( −β ⋅ x) ⋅ t) , (16)
де α и β - част
г от ственно ( α
ны й и барьерный факторы , со о твет ≡ h /16m *σ p ); β ≡ m * ⋅ ∆E t / 2h ;
∆E t - вы со т
абарьера, m* - эффективная массаэлект
ро на.
П ро цесст
ермическо г
о о тжиг
азахваченно г
о заря дао п исы вает
ся решением уравнения (20) иимеетвид:
Pt (E t , t) = P(E t ,0) ⋅ exp( − AT 2 ⋅ exp( − E t kT ) ⋅ t) , (21)
г
де T – абсо лю тная т
емп ература, k – ко нст
анта Бо льцмана, Et – энерг
ия ды ро чно г
о ц ентра, A –
фено мено ло г
ический п арамет
р, ко торы й зависит о т п риро ды дыро чно го ц ентра. П ро ц есс релаксац ии
нако п ленно г
о радиацио нно -индуц иро ванно г
о заря дап о д дей ствием У Ф излучения о п исы вается следую щ ей
сист
емо й уравнений :
∂n ∂2n ∂(n ⋅ E )
= D n 2 +μ +G uv − R n (E ) , (27)
∂t ∂x ∂x
n
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 21
- 22
- 23
- 24
- 25
- …
- следующая ›
- последняя »
