Моделирование радиационных эффектов в структурах металл-диэлектрик-полупроводник. Иванков Ю.В - 25 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

где
x − координата , t − время, V − напряжение на МДП-структуре, d
−
толщина диэлектрика.
Поток фотоэмиссионных электронов в диэлектрик определяется
интенсивностью УФ излучения , которая отражается в параметре B, энергией
УФ квантов
ν
h , высотой потенциального барьера Ф и расстоянием от
границы х:
()
2
Φ−= υ hBG
uv
, при х = 0 ,
uv
G
= 0, при х ≠ 0 ,
(26)
где d – толщина диэлектрика.
Полевые зависимости сечения захвата дырки на нейтральной ловушке
σ
p
E() и электрона на
кулоновском центре (захваченной дырке)
σ
n
E()
имеют вид:
σ
p
EE().(.,),
.
=⋅+⋅
−
−
−
1410101910
1440551
(40)
σ
n
EE().(,).
.
=⋅+
−
−
−
16101010
1241511
(41)
Уравнения непрерывности с выбранными граничными и начальными условиями представляют собой
краевую задачу, численное решение которой находится методом “прогонки” .
Полученные из решения уравнений непрерывности распределения концентрации свободных
носителей n и p, подставляются в уравнения кинетики дырочного захвата (30,31) для нахождения
пространственного распределения концентрации захваченных дырок P
t1
и P
t2
для отжигаемого и
неотжигаемого уровней соответственно . Найденные распределения свободных носителей и захваченного
заряда подставляются в уравнение Пуассона (29), решение которого позволяет определить распределение
напряженности электрического поля в диэлектрике E.
7. Анализ релаксации радиационно-индуцированного заряда в подзатворном диэлектрике под
воздействием термического отжига и
УФ - квантов ближнего спектра. 
где x − ко о рдината, t − время , V − нап ря ж ение на М Д П -структуре, d −
то лщ инадиэлектрика.
       П о то к фо то эмиссио нны х электро но в в диэлектрик о п ределя ется
интенсивно стью У Ф излучения , ко то рая о траж ается вп араметре B, энерг
                                                                          ией
У Ф кванто в hν , вы со то й п о тенц иально г
                                             о барьера Ф и рассто я нием о т
границ ы х:

        Guv = B (hυ − Φ )2 , п ри х = 0 ,
                                                                                                  (26)
        Guv = 0, п ри х ≠ 0 ,



г
де d – т
       о лщ инадиэлектрика.

        П о левые зависимо сти сечения захвата дырки на ней т
                                                            рально й ло вушке         σ p ( E)   и электро на на

куло но вско м ц ент
                   ре (захваченно й ды рке)   σ n (E)   имею твид:




        σ p ( E ) = 1.4 ⋅ 10−14 (1.0 + 19
                                        , ⋅ 10 −4 E 0.55 ) −1,                                    (40)


        σ n ( E ) = 1.6 ⋅ 10 −12 (10
                                   , + 10 −4 E1.51 ) −1.                                          (41)



У равнения неп реры вно сти с выбранны ми граничными и начальными усло вия ми п редставля ю т со бо й
краевую задачу, численно е решениеко т
                                     о ро й нахо дит
                                                   ся методо м “п ро г
                                                                     о нки”.

         П о лученные из решения уравнений неп реры вно сти расп ределения ко нцентрации сво бо дны х
но сителей n и p, п о дставляю тся в уравнения кинетики ды ро чно г
                                                                  о захват
                                                                         а (30,31) для нахо ж дения
п ро странственно г
                  о расп ределения ко нцентрации захваченны х дыро к Pt1 и Pt2 для о тжиг
                                                                                        аемо г
                                                                                             о и
нео т
    жиг
      аемо г
           о уро вней со о твет
                              ственно . Н ай денны е расп ределения сво бо дны х но сителей и захваченно г
                                                                                                         о
заря да п о дставля ю т
                      ся в уравнение П уассо на (29), решение ко торо го п о зво ля ето п ределить расп ределение
нап ря женно ст
              и электрическо г
                             о п о ля вдиэлектрике E.




7. А н ал изрел аксации радиацион н о-ин дуцирован н ого з
                                                         аряда вподз
                                                                   атворн ом диэл ектрике под
воз
  действием термич еского отж ига и

У Ф - кван товбл иж н его спектра.

Страницы