Физико-химические основы РЭС - 27 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

отражает, половину пропускает, вследствие чего образуются две системы волн, способных интерфери-
ровать.
В результате интерференции двух систем волн в фокальной плоскости окуляра наблюдаются интер-
ференционные полосы. Разность хода интерферирующих лучей от центра поля к краям увеличивается и
проходит все значения 0;
2
λ
;
λ
;
λ
2
3
;
λ
2
и т.д., где
λ
– длина волны света. В точках поля, где разность
хода равна λ; 2λ; 3λ и т.д., в результате интерференции пучков получаются светлые полосы, а в точках,
где разность хода равна
2
λ
;
λ
;
λ
2
3
;
λ
2
5
и т.д. – тёмные полосы.
На рис. 9.3 показана схема оптической системы МИИ-4. Свет от лампы
1
через конденсор
2
попада-
ет на полупрозрачную пластину
3
,
где разделяется на два пучка лучей. Один, отражаясь, попадает в
объектив
4
и фокусируется на поверхности объекта
5
. Отразившись от неё, он через объектив
4
и про-
межуточную линзу 6 приходит в окуляр
7
. Второй пучок от конденсора
2
проходит через полупрозрач-
ную пластину
3
и через компенсатор
8
падает на эталонное зеркало
9
интерференционной головки. От-
разившись от него и вернувшись к полупрозрачной пластине, второй пучок лучей также приходит в
окуляр
7
.
Для измерения толщины плёнки образец надо положить на объектный столик прибора слоем вниз.
Для фокусировки изображения плёнки надо использовать микровинт на станине прибора. При этом
второй пучок (от эталонного зеркала) выключается поворотом ручки шторки по часовой стрелке.
При достижении резкого изображения края плёнки шторку открывают (ручка против часовой
стрелки) и в центре окуляра одновременно наблюдают картину интерференции (рис. 9.4).
На краю плёнки интерференционная картина сдвигается, что связано с изменением длины хода лу-
чей, отражённых от поверхностей подложки и плёнки на величину толщины
δ
.
Величину сдвига ин-
терференционной картины следует определить в долях от интервала между полосами.
Рис. 9.3. Схема оптической
системы микроинтерферо-
метра
Рис. 9.4. Схема образования
и обмера интерференцион-
ной картины
При использовании белого света минимумы картины (тёмные полосы) окрашены в цвета радуги.
Для измерений обычно используют два первых минимума чёрного цвета.
Для этого надо повернуть окуляр МОВ-1 так, чтобы одна из его визирных линий стала параллельна
интерференционным полосам и, вращая барабанчик, совместить визир сначала с одним, а потом с дру-
гим минимумом, последовательно снимая отчёты
N
1
,
N
2
,
N
3
,
N
4
(рис. 9.4).
Рассчитать толщину плёнки по формуле
21
43
27,0
NN
NN
−
−
=δ
, мкм.
1. Все результаты измерений занести в табл. 9.1.
5
4
1
2
3
8
9
6
7
N
1
N
3
N
4
δ
N
2

Страницы