ВУЗ:
Составители:
10
Лабораторная работа 3
ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Цель работы: ознакомиться с методами химического травления
полупроводниковых и плёночных структур, научится подбирать рас-
творители для различных материалов и определить время травления.
Теоретические сведения
Механизм растворения определяется химической природой твёр-
дого тела и растворителя. Растворители имеют неорганическую (ки-
слоты, щёлочи, соли) или органическую (углеводороды, спирты и др.)
природу. Они отличаются по химическому составу и концентрации.
В зависимости от этих факторов и температуры определяется скорость
растворения обрабатываемой поверхности.
Существует три класса растворов: электролиты, неэлектролиты и
металлические расплавы. Электролиты – водные растворы солей, ки-
слот, щёлочей и расплавы солей. Неэлектролиты – большинство угле-
водородов и их производные.
В теории растворов неэлектролитов получены несколько фунда-
ментальных соотношений, определяющих закон растворения в жидко-
стях (закон Генри, Рауля, Клапейрона–Клаузиуса и др.).
По закону Генри парциальное давление насыщенного пара ком-
понента раствора p
1
пропорционально его мольной доле С
1
в растворе:
11
Ckp =
, (3.1)
где k – коэффициент пропорциональности (константа Генри).
При равновесии раствора с кристаллами растворителя
0
тт11
рр =
получаем соотношение, называемое уравнение Шредер–Ле Шателье:
−
∆
−=
пл
пл
1
11
R
ln
TT
Q
C
,
(3.2)
где ∆Q
пл
– теплота плавления; R – универсальная газовая постоянная;
Т – температура перехода из одной фазы в другую; Т
пл
– температура
плавления.
Для бесконечно разбавленных двух компонентных растворов
можно записать
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 8
- 9
- 10
- 11
- 12
- …
- следующая ›
- последняя »
