Технология изготовления полупроводниковых электронных схем. Королев А.П - 8 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

8
свойствами, у нитрида кремния и алюминия маскирующие характери-
стики лучше, чем у SiO
2
.
Наиболее старым и испытанным описанием профиля внедрённой
примеси, согласно классической теории ЛШШ, является симметричная
гауссиана (2.1). Однако уже ранние экспериментальные исследования
показали, что данное описание существенно не адекватно эксперимен-
тально снятым профилям для большинства ионов как в кремнии, так и
в других полупроводниках. Было найдено, что профили большинства
внедрённых ионов асимметричны в аморфных и кристаллических ми-
шенях, причем асимметрию можно отразить введением третьего цен-
трального момента распределения σ
2
к двум прежним σ
1
, R
p
(рис. 2.1, а, б).
Большинство экспериментальных данных по распределениям ионов
фосфора, мышьяка, сурьмы хорошо аппроксимируется теоретически-
ми расчётами с использованием третьего центрального момента в рас-
пределении типа «сдвоенная гауссиана» – гауссианы с различными
дисперсиями на левом и правом плечах распределения (рис. 2.1, б).
Таким образом, в рассматриваемом методе моделирования про-
филь внедрённой примеси задаётся аналитически с помощью формулы
∫
∞
=
0
)(
)(
)(
dxxf
xQf
xC
. (2.2)
Здесь Q – доза имплантированной примеси, функция распределе-
ния f
(x) для фосфора, мышьяка, сурьмы имеет вид сдвоенной полуга-
уссианы (рис. 2.1):
(
)
[
]
( )
[ ]
>σ−−
≤σ−−
=
, ,2exp
; ,2exp
)(
2
2
1
2
pp
pp
RxRx
RxRx
xf
а коэффициенты R
p
, σ
1
, σ
2
приведены в табл. 1.
Таблица 1
E, кэВ 20 40 60 80 100 200 400 600 800 1000
R
p
,
нм
P
As
Sb
21,8
19,00
12,36
44,34
31,60
20,67
68,94
44,32
27,84
94,95
35,25
35,25
122,0
72,8
41,45
263,6
134,7
174,1
545,7
253,2
140,5
810,0
344,7
210,7
1060,0
484,6
284,3
1295,0
609,2
360,3
σ
1
,
нм
P
As
Sb
7,343
9,11
2,07
15,66
14,44
4,21
24,7
19,864
5,622
34,0
25,484
25,484
43,35
31,50
8,53
87,54
55,08
15,55
161,0
86,96
29,83
220,0
96,56
45,33
270,0
133,5
61,43
316,5
157,3
77,53
σ
2
,
нм
P
As
Sb
15,6
7,957
5,925
25,8
13,04
9,543
34,35
17,17
12,78
41,63
20,17
20,17
47,8
22,55
18,65
68,97
39,16
31,83
81,39
81,36
55,85
50,0
136,7
77,25
13,5
161,3
96,84
15,6
192,6
115,0

Страницы