ВУЗ:
Составители:
6
– в арсениде галлия: кадмия, германия, мышьяка, серы, селена,
галлия.
При м е ч ан и е: соответствующие энергии активации и частотные факто-
ры приведены в [14].
Содержание отчёта
1. Расчёт энергии активации ∆Е и частотного фактора D
0
. График
в координатах In
D – 1000/Т.
2. График температурной зависимости коэффициента диффузии в
интервале температур от 300 К до точки плавления.
Контрольные вопросы
1. Что такое химический потенциал?
2. Каков физический смысл постоянной Больцмана?
3. Назовите основные механизмы диффузии примесей в твёрдом
теле.
4. Почему энергия активации примесей при диффузии по вакан-
сионному механизму больше, чем в случае междоузельного механизма?
5. Возможна ли самодиффузия по эстафетному механизму?
6. Дайте макроскопическое определение коэффициента диффузии.
7. Каков физический смысл коэффициента диффузии с микро-
скопической точки зрения?
8. От каких параметров зависит частотный фактор в законе Арре-
ниуса?
Лабораторная работа 2
ИЗУЧЕНИЕ ПРОЦЕССОВ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ
Цель работы: изучить процесс формирования примесного про-
филя при ионном легировании.
Теоретические сведения
Процесс ионного легирования заключается в ионизации и ускоре-
нии до больших скоростей атомов примеси. Эффективная масса иона
в 10
3
– 10
5
больше массы электрона, поэтому при заданной энергии ион
имеет импульс, в 10
2
– 10
4
раз превышающий импульс электрона.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 4
- 5
- 6
- 7
- 8
- …
- следующая ›
- последняя »
