ВУЗ:
Составители:
16
Учебное издание
КОРОЛЕВ Андрей Павлович,
БАРШУТИН Сергей Николаевич
ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ СХЕМ
Лабораторные работы
Редактор З.Г. Чернова
Инженер по компьютерному макетированию И.В. Евсеева
Подписано в печать 10.05.2011
Формат 60
×
84
/16. 0,93 усл. печ. л. Тираж 100 экз. Заказ № 190
Издательско-полиграфический центр
Тамбовского государственного технического университета
392000, Тамбов, Советская, 106, к. 14
