Технология изготовления полупроводниковых электронных схем. Королев А.П - 14 стр.

UptoLike

14
3. Измерить температуру растворителя (реактива).
4. Погрузить вертикально пластину в раствор и засечь время
травления.
5. Из полученных результатов по соотношению (3.14) определить
E
a кр
и тип травления (полирующее или селективное).
Содержание отчёта
Отчёт должен содержать интерференционный рисунок с указани-
ем величины сдвига интерференционных линий, расчёт толщины
пленки и скорости химического травления.
Контрольные вопросы
1. Какую природу могут иметь растворители.
2. Какие классы растворов вы знаете.
3. Уравнение ШредерЛе Шателье
4. Этапы растворения твёрдого тела.
5. Диффузионная скорость растворения (общая, для вертикальной
пластины, для вращающегося диска).
6. От чего зависит тип травления.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Болтакс, Б.И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводни-
ках / Б.И. Болтакс. Л. : Наука, 1972. – 384 с.
2. Болтакс, Б.И. Диффузия в полупроводниках / Б.И. Болтакс.
М. : Физматгиз, 1961. – 462 с.
3. Бронштейн, И.Н. Справочник по математике / И.Н. Бронштейн,
К.А. Семендяев. – М. : Наука, 1986. – 320 с.
4. Бубенников, А.Н. Моделирование интегральных микротехно-
логий, приборов и интегральных схем / А.Н. Бубенников. М. : Выс-
шая школа, 1989. – 320 с.
5. Бубенников, А.Н. Физико-технологическое проектирование
биполярных элементов кремниевых БИС / А.Н. Бубенников, А.Д. Са-
довников. – М. : Радио и связь, 1991. – 288 с.
6. Кремниевые планарные транзисторы / под ред. Я.А. Федотова. –
М. : Сов. радио, 1973. – 336 с.
7. Курносов, А.И. Технология производства полупроводниковых
приборов и интегральных схем / А.И. Курносов, Б.Б. Юдин. М. :
Высшая школа, 1986. – 388 с.