Составители:
Рубрика:
94
Рис
. 2.8.
К
расчету
толщины
слоя
для
подложки
произвольной
формы
,
совершающей
двойное
вращение
{
}
[
]
P
arh ))1cos(()cos()sin()cos(
)'cos(
111
ψ
ϕ
α
ϕ
ψ
αϕ
ρ
δ
δ
θ
+
+
−
−
+
+
+
±
=
, (2.2)
))1cos((2)cos(2)cos(2
1
1
1
1
22222
ψϕαρϕϕϕψαϕρρ
++−+−−+++++= aarrrahP
,
где
a
-
расстояние
ОА
от
испарителя
до
оси
вращения
приемной
поверхности
,
r
–
расстояние
между
осями
вращения
ОZ
и
О″Z″
,
ρ
–
расстояние
от
точки
В
до
оси
симметрии
О″Z″
,
h = h(ρ)
–
высота
исследуемой
точки
В
над
плоскостью
испарителя
XOZ
,
φ
1
и
ψ
1
-
величины
углов
φ
и
ψ
в
момент
начала
образования
слоя
,
δ
-
угол
между
внешней
нормалью
к
поверхности
подложки
в
точке
В
и
осью
О″Z″
.
В
выражении
для
)'cos(
θ
плюс
соответствует
вогнутым
подложкам
,
минус
–
выпуклым
.
Подынтегральная
функция
в
выражении
(2.1)
является
периодической
.
Период
T
функции
есть
наименьшее
общее
кратное
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 92
- 93
- 94
- 95
- 96
- …
- следующая ›
- последняя »
