Составители:
Рубрика:
93
поверхностного
источника
А
,
размеры
которого
малы
по
сравнению
с
расстоянием
до
подложки
(
рис
. 2.8).
Тогда
толщина
слоя
t
в
некоторой
точке
подложки
определяется
как
2
)'cos()cos(
Pg
m
t
θ
θ
π
β
=
,
где
m
–
масса
испарившегося
вещества
,
β
–
коэффициент
прилипания
(
отношение
числа
осажденных
молекул
к
общему
числу
молекул
,
падающих
на
подложку
),
g
–
плотность
осаждаемой
пленки
,
θ
–
угол
между
нормалью
к
поверхности
испарителя
и
направлением
АВ
от
испарителя
в
исследуемую
точку
подложки
В
.
θ′
–
угол
между
внешней
нормалью
n
к
поверхности
подложки
в
точке
В
и
направлением
АВ
,
Р
–
расстояние
от
испарителя
до
исследуемой
точки
подложки
.
Подложка
совершает
движение
вокруг
оси
ОZ
в
плоскости
,
параллельной
плоскости
испарителя
,
и
одновременно
вращается
вокруг
оси
О″Z″
,
совпадающей
с
осью
симметрии
подложки
.
Оси
ОZ
и
О″Z″ параллельны
.
Вращение
равномерное
,
а
скорость
испарения
вещества
постоянна
.
Тогда
толщина
слоя
,
образовавшегося
в
точке
В
подложки
за
время
поворота
приемной
поверхности
на
угол
φ
0
,
равна
ϕ
θθ
ωπ
βϑ
ϕ
d
P
g
t
∫
=
0
0
2
)'cos()cos(
, (2.1)
где
τ
ϑ
d
dm
= -
скорость
испарения
вещества
,
τ
ϕ
ω
d
d
=
-
угловая
скорость
вращения
приемной
поверхности
,
φ
-
угол
поворота
приемной
поверхности
,
τ
-
время
.
Величины
)cos(
θ
,
)'cos(
θ
и
Р
зависят
от
угла
поворота
φ
.
Для
вычисления
интеграла
(2.1)
необходимо
знать
эти
зависимости
.
Введем
две
системы
полярных
координат
:
r
и
φ
,
полюс
которой
находится
на
оси
вращения
приемной
поверхности
ОZ
,
и
ρ
и
ψ
,
полюс
которой
находится
на
оси
О″Z″
.
Обе
системы
координат
находятся
в
плоскости
приемной
поверхности
X′O′Y′
.
Направление
отсчета
углов
φ
и
ψ
показано
на
рис
. 2.9.
Оси
прямоугольных
систем
координат
XOY
,
X′O′Y′
и
X″O″Y″
параллельны
друг
другу
.
Через
α
обозначим
отношение
угловой
скорости
вращения
подложки
к
угловой
скорости
вращения
приемной
площадки
.
При
равномерном
вращении
ϕ
ψ
=+α 1
,
так
как
угловая
скорость
вращения
подложки
отсчитывается
относительно
приемной
поверхности
.
В
выбранных
координатах
искомые
величины
имеют
вид
P
h
=)cos(
θ
,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 91
- 92
- 93
- 94
- 95
- …
- следующая ›
- последняя »
