Составители:
Рубрика:
95
чисел
π
2
,
α
π
2
и
1
2
+
α
π
,
он
равен
π
2
для
целых
α
и
α
π
2
при
F
1
=
α
.
Величина
F
принимает
целые
значения
.
С
учетом
того
обстоятельства
,
что
время
осаждения
слоя
обычно
достаточно
велико
по
сравнению
с
периодом
Т
,
случаем
реализации
не
целого
числа
периода
можно
пренебречь
.
Поэтому
в
формуле
(2.1)
верхний
предел
интегрирования
можно
положить
равным
Т
,
помножив
толщину
слоя
при
этом
на
число
периодов
N
ϕ
θθ
ωπ
βϑ
ρ
d
P
N
g
t
T
∫
=
0
2
)'cos()cos(
)(
. (2.3)
Таким
образом
,
задача
расчета
распределения
толщины
слоя
на
осесимметричной
подложке
сводится
к
вычислению
интеграла
(2.3)
при
подстановке
выражений
(2.2) ,
где
)cos(
δ
,
)sin(
δ
и
)(
ρ
h
определяются
формой
поверхности
подложки
.
Постоянный
множитель
ωπ
βϑ
g
,
входящий
в
выражения
(2.1)
и
(2.3),
зависит
от
времени
осаждения
слоя
и
точно
не
известен
.
Поэтому
удобно
проводить
анализ
распределения
толщины
пленки
,
исследуя
нормированную
функцию
-
)0(
)(
)(
t
t
ρ
ρ
=∆
.
Отметим
,
что
в
частном
случае
одинарного
вращения
,
т
.
е
.
при
r
= 0,
удается
получить
выражение
для
интеграла
(2.3)
в
аналитическом
виде
:
[
]
[ ]
2
3
222222
2222222
4)(
))(sin())(cos(2
)(
ρρω
ρδρρδβϑ
ρ
aahg
ahhahhN
t
−++
+−+++±
=
. (2.4)
Выражения
(2.3)
и
(2.4)
верны
для
подложек
с
произвольной
формой
поверхности
.
Рассмотрим
несколько
частных
случаев
,
наиболее
часто
встречающихся
на
практике
.
Вначале
рассмотрим
вариант
осаждения
слоя
на
конусную
поверхность
при
одинарном
вращении
.
Такой
модели
,
например
,
соответствует
случай
осаждения
пленок
на
плоские
подложки
небольшого
размера
(
до
100
мм
),
расположенные
на
вращающейся
поверхности
,
представляющей
собой
часть
сферы
(
рис
. 2.9).
Для
плоских
подложек
,
расположенных
в
одном
ряду
,
вращающаяся
поверхность
представляет
собой
усеченный
конус
с
вершиной
в
точке
M
(
рис
. 2.9).
Конус
характеризуется
углом
β
,
который
является
углом
между
образующей
конуса
и
плоскостью
вращения
приемной
площадки
В
.
Нормаль
в
точке
В
(
вектор
n
r
)
составляет
угол
δ
с
осью
OZ
.
По
-
прежнему
а
–
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 93
- 94
- 95
- 96
- 97
- …
- следующая ›
- последняя »
