Составители:
Рубрика:
99
1,2 1,4 1,6 1,8 2,0 2,2
2,4
2,6 2,8
3,2
3,0
0,20
0,18
0,16
0,14
0,12
0,10
0,08
β, рад
h
Рис
. 2.12.
Зависимость
параметров
h
и
β
,
при
которых
достигается
оптимальное
распределение
по
толщине
осаждаемой
пленки
Малым
значениям
относительной
высоты
соответствуют
небольшие
углы
наклона
подложки
к
горизонтальной
плоскости
,
в
пределе
стремящиеся
к
нулю
,
т
.
е
.
при
высотах
,
близких
к
1,
наименьший
разброс
по
толщине
будет
на
подложке
,
расположенной
горизонтально
.
Точкой
на
рис
. 2.12
отмечено
положение
реальных
параметров
для
подложки
диаметром
76
мм
,
находящейся
в
верхнем
ряду
оснастки
,
изображенной
на
рис
. 2.5.
В
данном
случае
расчетная
неравномерность
толщины
пленки
на
этой
подложке
не
превышает
0,4%.
Полученные
экспериментальные
результаты
подтверждают
эту
величину
.
Рассмотрим
случай
осаждения
пленки
на
плоскую
подложку
,
совершающую
двойное
(
планетарное
)
вращение
в
плоскости
,
перпендикулярной
оси
вращения
всей
оснастки
(
рис
. 2.13).
Для
рассматриваемого
случая
угол
δ
=0,
а
высота
)()(
0
ρρ
hh
=
.
При
этом
величина
t(
ρ
)
является
функцией
нескольких
независимых
величин
и
зависит
от
угла
,
межосевого
расстояния
r
,
высоты
h
0
и
расстояния
ρ
от
оси
O
″
Z
″
,
которое
,
определяется
радиусом
подложки
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 97
- 98
- 99
- 100
- 101
- …
- следующая ›
- последняя »
