Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 105 стр.

В частности, в последнее время применяют плазменный метод. В
плазмотроне, где в качестве плазмообразующих газов используют аргон,
гелий, зажигается дуга, в область которой подается порошок карбонатов
ЩЗМ, при этом возможно их частичное разложение (до 60%) до оксидов.
Поток твердых частиц несется газами на керны катодов и там осаждается.
При этом получают очень плотные покрытия (более 4 г/см3). Такой метод
очень удобен для больших синтерированных катодов, имеющих покрытия
с большим привесом. При последующей вакуумно-термической обработке
исключается растрескивание покрытия и сокращается время откачки
прибора.


                        Контрольные вопросы
1. Какие компоненты входят в состав карбонатных суспензий?
2. В чем заключается сущность методов нанесения карбонатных покрытий
на керны катодов?
3. Каким образом готовятся керны катодов перед нанесением на них
карбонатных покрытий?
4. Как и по каким параметрам контролируется качество карбонатных
покрытий?


      3.1.5. Вакуумная обработка катода в разборной диодной лампе


     Одним из завершающих этапов в изготовлении электровакуумных
приборов является откачка. Под откачкой ЭВП понимают процесс
удаления как свободных (заполняющих свободное пространство прибора),
так и связанных (сорбированных оболочкой и деталями) газов. Удаление
из ЭВП свободных газов с помощью вакуумных насосов не представляет
особого труда и осуществляется довольно быстро (секунды, минуты).
Удаление связанных газов зависит от скорости перехода из связанного


                                 105