Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 35 стр.

     Основной частью поста, как и в работе №2, является стеклянный
колпак (1), в котором в пространстве между катодом (2) и анодом (3)
подается высокое напряжение и зажигается тлеющий разряд. Катод
выполнен из медного цилиндра.
     В    качестве    подложки     используется       покровное    стекло,
предварительно обработанное по вышеизложенной методике (см. работу
№2). Подложка помещается на соответствующую подставку, служащую
анодом. После загрузки при закрытом кране 4 открываем водопроводный
кран для охлаждения диффузионного насоса (8), включаем форвакуумный
наcoc (9). При этом кран 5 должен быть закрыт и открыты краны 6 и 7. При
давлении не выше 10-1 торр включаем нагреватель диффузионного насоса
и откачиваем систему до давления порядка 10-4 торр.
     Теперь можно с помощью крана 4 из специального баллона (камеры)
напустить в систему до требуемого давления соответствующий газ (Аг).
Включить высокое напряжение и установить необходимый ток разряда (по
миллиамперметру). Время обработки подложек, так же как и ток разряда, и
расстояние от катода до подложек устанавливается преподавателем.
     По истечении заданного времени выключить высокое напряжение, а
после остывания катода закрыть краны 5 и 6 и напустить воздух (кран 4) в
систему, произвести выгрузку и, если требуется, загрузку подложек. После
загрузки новых подложек необходимо закрыть краны 4 и 7 (краны 5 и 6
закрыты), открыть кран 5, откачать установку до давления 10-1 торр,
закрыть кран 5 и открыть краны 6 и 7, откачать установку до рабочего
давления и произвести напыление пленки.
     Можно работать и не включая диффузионный насос, производя
распыление катода в атмосфере остаточных газов. В этом случае, не
открывая водопроводный кран для охлаждения диффузионного насоса,
(вакуумные краны 6 и 7 закрыты), открываем кран 5 и откачиваем системy
до предельно допустимого вакуума и производим распыление катода.

                                   35