Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 34 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

34
Порядок выполнения работы
Получение пленок методом катодного распыления производится на
установке, схема которой представлена на рис.9.
Рис.9. Схема установки катодного распыления
1-стеклянный колпак; 2-катод; 3-анод с подложками; 4-натекатель;
5,6,7,10-вакуумные краны; 8-паромасляный насос;9-форвакуумный насос 
                      Порядок выполнения работы
     Получение пленок методом катодного распыления производится на
установке, схема которой представлена на рис.9.




                Рис.9. Схема установки катодного распыления
    1-стеклянный колпак; 2-катод; 3-анод с подложками; 4-натекатель;
    5,6,7,10-вакуумные краны; 8-паромасляный насос;9-форвакуумный насос




                                   34

Страницы