Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 36 стр.

      В процессе работы по выбору преподавателя могут быть выполнены
следующие задания:
      - определить толщину полученной пленки;
      - вычислить скорость напыления пленок;
      - исследовать зависимость скорости распыления и толщины пленки
от тока разряда;
      - исследовать зависимость толщины пленки от расстояния между
катодом и подложкой.
      При составлении отчета необходимо рассмотреть ряд вопросов:
      1. Изменение параметров разряда в процессе опыта (величины
изменений и как они могут сказаться на результатах).
      2. Возможность термического испарения материала катода за счет
его нагревания под действием разряда.
      3.    Подобрать     аналитическое     выражение,    описывающее
экспериментально полученную зависимость скорости распыления от
параметров разряда. Найти неизвестные коэффициенты в этом выражении.
      4. Обсудить влияние параметров разряда и условий получения
пленки на ее толщину.




               2.3. Лабораторная работа № 4
  Получение пленок методом ионно-плазменного распыления


      Метод катодного распыления имеет четыре разновидности:
1. Катодное распыление (диодная система, представленная в работе №3).
2. Ионно-плазменное распыление (триодная система).
3. Катодное распыление с применением распылителя магнетронного типа.
4. Катодное реактивное распыление.
      Методы катодного распыления, как уже отмечалось выше, имеют
ряд преимуществ перед термическим испарением в глубоком вакууме. Все

                                     36