Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 4 стр.

UptoLike

4
практически ставится задача удаления с поверхности лишь тех
загрязнений, которые влияют на физико-химические свойства поверхности
или объема. Это достигается заменой загрязнений веществами, которые
можно удалить с поверхности на заключительных стадиях очистки.
На начальных этапах для удаления больших количеств загрязнений с
поверхностей, пыли, отпечатков пальцев может применяться механическая
очистка разных видов, например, протирка поверхности щеткой или
тканью в моющем растворе. Затем проводится одна из важнейших
операций очистки - обезжиривание. Как уже отмечалось, обезжиривание
может проводиться двумя способами: 1) обезжиривание в щелочных
растворах и 2) обезжиривание в органических растворителях.
В качестве растворителей при обезжиривании применяются
трихлорэтилен, толуол, четыреххлористый углерод, спирт, ацетон, бензин
и т.д. В результате десорбции молекулы загрязнений переходят с
очищаемой поверхности в приповерхностный слой жидкости и далее
диффундируют в его объем. После этого поверхность оказывается
покрытой одним или несколькими слоями молекул растворителя.
Диффузии десорбированных молекул примесей в объем растворителя в
некоторой степени способствуют потоки или колебания жидкости около
очищаемой поверхности. Поэтому обезжиривание часто проводят в потоке
растворителя с применением гидродинамического или ультразвукового
метода интенсификации процесса. Дополнительным способом
интенсификации является и повышение температуры растворителя, однако
при этом следует учитывать возможность его воспламенения или
образование токсичных продуктов. Высокое качество очистки
обеспечивается при обработке в парах кипящего растворителя, который,
конденсируясь на поверхности подложки, растворяет загрязнения и
стекает в ванну. При данном процессе отсутствует повторная адсорбция
загрязнений на подложку. Особенно эффективен для обработки подложек
практически   ставится   задача   удаления    с   поверхности     лишь   тех
загрязнений, которые влияют на физико-химические свойства поверхности
или объема. Это достигается заменой загрязнений веществами, которые
можно удалить с поверхности на заключительных стадиях очистки.
     На начальных этапах для удаления больших количеств загрязнений с
поверхностей, пыли, отпечатков пальцев может применяться механическая
очистка разных видов, например, протирка поверхности щеткой или
тканью в моющем растворе. Затем проводится одна из важнейших
операций очистки - обезжиривание. Как уже отмечалось, обезжиривание
может проводиться двумя способами: 1) обезжиривание в щелочных
растворах и 2) обезжиривание в органических растворителях.
     В   качестве   растворителей   при      обезжиривании    применяются
трихлорэтилен, толуол, четыреххлористый углерод, спирт, ацетон, бензин
и т.д. В результате десорбции молекулы загрязнений переходят с
очищаемой поверхности в приповерхностный слой жидкости и далее
диффундируют в его объем. После этого поверхность оказывается
покрытой одним или несколькими слоями молекул растворителя.
Диффузии десорбированных молекул примесей в объем растворителя в
некоторой степени способствуют потоки или колебания жидкости около
очищаемой поверхности. Поэтому обезжиривание часто проводят в потоке
растворителя с применением гидродинамического или ультразвукового
метода    интенсификации      процесса.      Дополнительным        способом
интенсификации является и повышение температуры растворителя, однако
при этом следует учитывать возможность его воспламенения или
образование   токсичных     продуктов.    Высокое      качество     очистки
обеспечивается при обработке в парах кипящего растворителя, который,
конденсируясь на поверхности подложки, растворяет загрязнения и
стекает в ванну. При данном процессе отсутствует повторная адсорбция
загрязнений на подложку. Особенно эффективен для обработки подложек

                                    4