Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 5 стр.

в парах изопропиловый спирт.
     Иногда    в   процессе    очистки   возникает   побочный    эффект
взаимодействия растворителя с материалом подложки; в некоторых
работах сообщается, что адгезионная способность ухудшается в случае
обработки стеклянных подложек в четыреххлористом углероде и
трихлорэтилене. Для выбора конкретного метода очистки необходимо
знать особенности материала и способа его изготовления, а также
возможные виды загрязнений на его поверхности.
     Процесс   обезжиривания     в   щелочных    растворах   основан   на
химическом взаимодействии некоторых жировых загрязнений (жирных
кислот, а также животных и растительных жиров) с водными растворами
щелочей. Сущность метода состоит в разложении жиров щелочью и
переводе их в мыла, легко растворимые в воде. Повышение температуры,
активное перемешивание, правильно подобранные реактивы и их
концентрации регулируют процесс. Для повышения активности процесса
химической очистки применяются нагревание реактивов и приложение
ультразвуковых колебаний. Процессы с применением ультразвуковых
колебаний особенно эффективны для удаления механических загрязнений
(пыли) и отпечатков пальцев. Важным преимуществом ультразвуковой
обработки является способность кавитационных пузырьков проникать в
глубокие поры и трещины материала, которые не поддаются очистке
никакими другими способами. Наиболее эффективно ультразвуковая
очистка происходит при частотах 20-40 кГц. Именно при этих частотах
газовые пузырьки имеют большие размеры и при кавитации выделяют
больше энергии. Кроме того, при этих частотах вибрируют сами образцы,
что способствует дополнительной очистке. При ультразвуковой очистке
легкодеформируемых подложек целесообразны ультразвуковые колебания
с частотой 400 кГц, так как применение более низких частот может
деформировать или разрушить образцы. Высокочастотные ультразвуковые

                                     5