Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 74 стр.

   с-концентрация исследуемого вещества;
   d-толщина слоя образца;
   А(λ) - множитель, определяющий потери света при его отражении на
границе раздела сред;
   α(λ) - коэффициент экстинкции.
     Произведение D(λ)=α(λ)cd называется оптической плотностью. Из
этого выражения видно, что при определенной концентрации вещества
оптическая плотность прямо пропорциональна толщине образца.




                                                                  v ⋅103 ,
                                                                  см -1

      Рис. 22. Спектральное распределение коэффициента пропускания и
                  оптической плотности пленок фоторезиста


     В нашей лаборатории был построен калибровочный график D=f(d),
где D-оптическая плотность пленок фоторезиста на длине волны 405нм.
Таким образом, измерив оптическую плотность слоя фоторезиста на этой
длине волны, по калибровочному графику можно определить его толщину.


                                    74