ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
43
Описание исходного статистического массива в виде графа по-
грешностей позволяет избежать характерных ошибок при оценке
представительности так называемой "смешанной статистики", в кото-
рой наряду с независимыми результатами наблюдений имеются кор-
релированные. Для этого предлагается оперировать понятием "объем
выборки относительно источника погрешностей". В соответствии с
этим понятием при объединении всех двенадцати реализаций в од-
ну (см. рис. 3.1) объем получившегося массива относительно ис-
точника ∆(1.0 − 1.1) будет равен 3n, а относительно источника
∆(1.1 −1.1.1) — 12n.
Обоснование структуры полного графа погрешностей, описыва-
ющего управляемый технологический процесс, начинается с деталь-
ного априорного анализа всех технологических факторов, система-
тизации их по уровням симметричной схемы действия факторов. Ре-
зультаты анализа оформляются в виде таблицы, которая является
приложением к графу погрешностей наряду с таблицей инвариан-
тов графа. Будучи введенными в память компьютера, эти табли-
цы используются для выдачи информационно-советующих сигналов
управления, указывая с точностью до группы факторов на причину
нестабильности процесса. Количество групп факторов определяется
организацией технологического процесса, точностью измерений при
проведении операционного контроля, конструкцией тест-элементов и
структур.
Использование статистических характеристик в качестве пара-
метров технологического процесса при оценке точности предполага-
ет случайный характер погрешностей изготовления ИМС, случай-
ность и стационарность многомерных последовательностей резуль-
татов операционного контроля. Стационарность при использовании
дисперсионного анализа обычно трактуется как воспроизводимость
соответствующих распределений ( дисперсий ), а оценка случайно-
сти отклонений параметров тест-структур от номинальных значе-
ний, как правило, не проводится, что существенно снижает досто-
верность статистических оценок. Если нестационарность случайной
последовательности указывает на наличие "эффекта оператора" или
предупреждает о возможном отклонении точности процесса, то от-
43 Описание исходного статистического массива в виде графа по- грешностей позволяет избежать характерных ошибок при оценке представительности так называемой "смешанной статистики", в кото- рой наряду с независимыми результатами наблюдений имеются кор- релированные. Для этого предлагается оперировать понятием "объем выборки относительно источника погрешностей". В соответствии с этим понятием при объединении всех двенадцати реализаций в од- ну (см. рис. 3.1) объем получившегося массива относительно ис- точника ∆(1.0 − 1.1) будет равен 3n, а относительно источника ∆(1.1 − 1.1.1) — 12n. Обоснование структуры полного графа погрешностей, описыва- ющего управляемый технологический процесс, начинается с деталь- ного априорного анализа всех технологических факторов, система- тизации их по уровням симметричной схемы действия факторов. Ре- зультаты анализа оформляются в виде таблицы, которая является приложением к графу погрешностей наряду с таблицей инвариан- тов графа. Будучи введенными в память компьютера, эти табли- цы используются для выдачи информационно-советующих сигналов управления, указывая с точностью до группы факторов на причину нестабильности процесса. Количество групп факторов определяется организацией технологического процесса, точностью измерений при проведении операционного контроля, конструкцией тест-элементов и структур. Использование статистических характеристик в качестве пара- метров технологического процесса при оценке точности предполага- ет случайный характер погрешностей изготовления ИМС, случай- ность и стационарность многомерных последовательностей резуль- татов операционного контроля. Стационарность при использовании дисперсионного анализа обычно трактуется как воспроизводимость соответствующих распределений ( дисперсий ), а оценка случайно- сти отклонений параметров тест-структур от номинальных значе- ний, как правило, не проводится, что существенно снижает досто- верность статистических оценок. Если нестационарность случайной последовательности указывает на наличие "эффекта оператора" или предупреждает о возможном отклонении точности процесса, то от-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 41
- 42
- 43
- 44
- 45
- …
- следующая ›
- последняя »