Автоматизированный контроль аналоговых интегральных микросхем. Крылов В.П. - 43 стр.

UptoLike

Составители: 

43
Описание исходного статистического массива в виде графа по-
грешностей позволяет избежать характерных ошибок при оценке
представительности так называемой "смешанной статистики", в кото-
рой наряду с независимыми результатами наблюдений имеются кор-
релированные. Для этого предлагается оперировать понятием "объем
выборки относительно источника погрешностей". В соответствии с
этим понятием при объединении всех двенадцати реализаций в од-
ну (см. рис. 3.1) объем получившегося массива относительно ис-
точника ∆(1.0 1.1) будет равен 3n, а относительно источника
∆(1.1 1.1.1) 12n.
Обоснование структуры полного графа погрешностей, описыва-
ющего управляемый технологический процесс, начинается с деталь-
ного априорного анализа всех технологических факторов, система-
тизации их по уровням симметричной схемы действия факторов. Ре-
зультаты анализа оформляются в виде таблицы, которая является
приложением к графу погрешностей наряду с таблицей инвариан-
тов графа. Будучи введенными в память компьютера, эти табли-
цы используются для выдачи информационно-советующих сигналов
управления, указывая с точностью до группы факторов на причину
нестабильности процесса. Количество групп факторов определяется
организацией технологического процесса, точностью измерений при
проведении операционного контроля, конструкцией тест-элементов и
структур.
Использование статистических характеристик в качестве пара-
метров технологического процесса при оценке точности предполага-
ет случайный характер погрешностей изготовления ИМС, случай-
ность и стационарность многомерных последовательностей резуль-
татов операционного контроля. Стационарность при использовании
дисперсионного анализа обычно трактуется как воспроизводимость
соответствующих распределений ( дисперсий ), а оценка случайно-
сти отклонений параметров тест-структур от номинальных значе-
ний, как правило, не проводится, что существенно снижает досто-
верность статистических оценок. Если нестационарность случайной
последовательности указывает на наличие "эффекта оператора" или
предупреждает о возможном отклонении точности процесса, то от-