Автоматизированный контроль аналоговых интегральных микросхем. Крылов В.П. - 44 стр.

UptoLike

Составители: 

44
рицательный результат при оценке случайности чаще всего свиде-
тельствует о существовании невыявленных в ходе априорного тех-
нологического анализа корреляционных связей между параметрами
тест-элементов. Их влияние, как показывает практика, приводит к
ошибочным выводам о нестационарности стационарных технологи-
ческих процессов и другим характерным ошибкам, о которых упо-
миналось выше.
При малом количестве длинных реализаций оценку стационар-
ности и случайности удобно выполнять с помощью универсальных
непараметрических критериев серий и инверсий [8], для примене-
ния которых вполне достаточно даже одной реализации. Разрабо-
танный автором вариант алгоритма оценки основан на подведении
итогов "голосования" по результатам подсчета инверсий и серий при
двух уровнях отсчета, соответствующих математическому ожиданию
и медиане. Количество смежных интервалов, на которые делится ре-
ализация, задается исследователем.
В ходе практической апробации были обследованы 72 партии тон-
копленочных плат. Из партии выбирались две подложки, на каждой
из которых на пяти платах контролировались до подгонки сопротив-
ления трех одинаковых по номинальной величине резисторов. Уста-
новлено, что σ
отн
[∆(0 1.0)] = 6, 5 %, σ
отн
[∆(1.0 1.1)] = 3, 1 %,
σ
отн
[∆(1.1 1.1.1)] = 2, 9 %, σ
отн
[∆(1.1.1Y1)] = 1,9 %. Относи-
тельная погрешность измерений 0,1 % меньше минимального из пе-
речисленных значений более чем на порядок, поэтому все состав-
ляющие дисперсии значимы. Оценка стационарности и случайности
проводилась при уровне значимости 5 % и количестве интервалов,
равном шести. Результаты обработки (табл. 3.1) дают достаточные
основания для принятия гипотез о случайности и стационарности
технологического процесса до подгонки.
После подгонки контролировались сопротивления двух резисто-
ров на пяти платах каждой из ста подложек, взятых из разных пар-
тий. Импульсно-токовая подгонка с ручной регулировкой параметров
импульсов приводит к появлению "эффекта оператора" доминиру-
ющего субъективного случайного фактора, и, как следствие, про-
цесс становится нестационарным. Соответствующие оценки выпол-