ВУЗ:
Составители:
45
требуется огромное число слоев, что приводит к бесполезности перехода
от RCWA-метода, значительно менее чувствительного к шагам
дискретизации. В данной работе описывается способ значительного
повышения глобальной устойчивости, точности и скорости конечно-
разностного подхода.
Теоретичекий базис
В проблеме рассеяния на решетке, когда электрическое поле
( , )E x z
раскладывается по плоским волнам, или, иными словами, для
многокомпонентной задачи второго порядка мы имеем следующее
дифференциальное уравнение второго порядка:
( ) ( ) ( ) ( ).
dd
p z z A z z
dz dz
(2.1)
Если воспользоваться понятием обобщенного тока
J
, то
вышеуказанное уравнение можно переписать в виде дифференциального
уравнения первого порядка:
1
0 ( )
0 ( )
.
( ) 0
( ) 0
Bz
pz
d
aY
J J A z J
dz
Az
(2.2)
В простом случае неконической дифракции на решетке мы имеем
дело раздельно с
TE
и
TM
модами. Для
TE
моды
()pz
является
единичной матрицей, а для
TM
моды
1
( ), ( )H p z
— матричная
функция обратной диэлектрической проницаемости, за деталями можно
обратиться, например, к статье Мохарама [3]. Для конической дифракции
или для дифракции на трехмерных структурах
( , )
xy
EE
и после
простого поворота матрицы получаем:
2
x x x y y y y y x x x y
x y x y x x y x y x y x
k e k k e k k e k k e k
A
k e k k e k k e k k e k k
,
1
1 0
0 1
z
ke k
B
,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 43
- 44
- 45
- 46
- 47
- …
- следующая ›
- последняя »
