ВУЗ:
Составители:
101
Тема 5. Многослойные дифракционные решетки
Рассмотрим усовершенствованный, численно устойчивый вариант
метода связанных волн (RCWA - Rigorous Coupled-Wave Analysis) в
применении к многослойным дифракционным решеткам. Этот подход [9,
10] позволяет реализовать численно устойчивый алгоритм решения задачи
о рассеянии электромагнитного излучения на многослойных глубоких
дифракционных решетках. Кроме того, удается преодолеть численную
неустойчивость традиционного метода переходных матриц для
многослойных систем. Неустойчивость появляется в связи с тем, что
обычно при решении задачи на основе матриц перехода приходится
обращать плохо обусловленные матрицы. Подход, который мы опишем
ниже, позволяет избавиться от обращения плохо обусловленных матриц и,
следовательно, получить устойчивый метод решения задач многослойной
асимметричной конической дифракции.
5.1. Отражение и пропускание света многослойным покрытием,
состоящим из однородных слоев
Рассмотрим отражение и пропускание TE-поляризованной плоской
монохроматической волны, приведенная длина волны которой (в вакууме)
равна
0
, падающей под углом на
L
однородных слоев с показателями
преломления
12
, ,...
L
n n n
и толщинами
12
, ,...
L
d d d
, как показано на рис.11
(модификация алгоритма для случая TM-поляризации достаточно
прозрачна и обсуждается ниже).
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 99
- 100
- 101
- 102
- 103
- …
- следующая ›
- последняя »
