Проектирование микросхем и микропроцессоров. Макарчук М.В - 13 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

Как следует из рисунка, величина изменения площади зависит от ширины вывода
m
и точности совмещения ∆
l
, которая
обычно лежит в пределах 50 … 100 мкм:
∆
S
c
=
m
∆
l
c
1
2
4
3
m
∆S
c
l
1
∆
l
c
l
2
1
2
3
↑
↑↑
↑
↑
↑
↑
↑
∆
l
n
4
Рис. 1. Изменение площади
конденсатора за счёт неточности
совмещения масок верхней и
нижней обкладок:
1
– подложка;
2
– нижняя обкладка;
3
– диэлектрик;
4
– верхняя обкладка
Рис. 2. Изменение линейных
размеров при наличии зазора
между
маской и подложкой:
1
– подложка;
2
– маска;
3
–
испаритель;
4
– испаряемое
вещество
3. Наличие зазора между маской и подложкой приводит к возникновению так называемого «подпыления» (рис. 2) и
соответствующему увеличению площади конденсатора:
∆
S
п
= (
l
1
+
l
2
)∆
l
п
,
4. При вакуумно-термическом напылении для обеспечения оптимальных свойств напыленной плёнки подложку обычно
нагревают до определённой температуры (порядка 100
... 400°). За счёт разности температурных коэффициентов расширения
материалов маски и подложки линейные размеры напылённых участков плёнки отличаются от линейных размеров отверстий
в маске, измеренных при комнатной температуре (рис. 3).
∆
S
т
= (
l
1
+
l
2
)∆
l
m
так как
∆
l
т
= (
1
+ α∆
Т
)
l
,
то
∆
S
т
= (1 + α∆
Т
)(
l
1
2
+
l
2
2
).
Таким образом, абсолютная погрешность полезной площади плёночного конденсатора содержит составляющие, не
зависящие от линейных размеров конденсатора (∆
S
c
); пропорциональные линейным размерам (∆
S
м
и ∆
S
п
);
пропорциональные квадрату линейных размеров (∆
S
т
).
Рис. 3. Изменение линейных размеров конденсатора за счёт температурных коэффициентов материалов маски и
подложки
Поскольку площадь конденсатора пропорциональна квадрату линейных размеров, величина относительной
погрешности
S
S
∆
уменьшается при увеличении номинала конденсатора.
Порядок выполнения работы
1. Произвести измерение величины ёмкости для трёх типов конденсаторов (по указанию преподавателя). Результаты
измерений занести в табл. 1.
2. Для тех же конденсаторов измерить линейные размеры верхней обкладки. Результаты занести в табл. 2.
3. Для каждой группы конденсаторов вычислить среднее значение ёмкости и среднее значение полезной мощности.
Подложка
Маска

Страницы