Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 18 стр.

UptoLike

18
у, равны между собой, но отличаются знаками. Следовательно,
.
0=
xy
J
Момент инерции зависит от вида сечения консольной балки (рис. 2.7) [3]:
с трапециевидным сечением:
3
24
2
1
h
ww
x
J
+
=
; (2.24)
()
h
wwww
y
J
++
=
48
2
2
2
121
, (2.25)
где ширина поверхности балки; ширина основания балки; тол-
щина балки.
1
w
2
w h
а б
Рис. 2.5. Центробежный момент инерции
Рис. 2.6. Центробежный момент инерции для симметричных сечений
Ширина поверхности и ширина основания консольной балки с трапецие-
видным сечением связаны следующим выражением:
φ
tghww
= 2
21
, (2.26)
где
φ
угол травления консольной балки.
с прямоугольным: