Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 16 стр.

UptoLike

16
ных материалов микромеханических элементов МСТ, приведены в табл.2.1.
Таблица 2.1
Физические постоянные материалов
п/п
материал
Модуль
Юнга (Е),
ГПа
Модуль
сдвига (G),
ГПа
Коэффициент
Пуассона (µ)
Плотность
(ρ), кг/м
3
Кремний (Si)
<001>
<011>
<010>
130
150
130
50
70
50
0,28
0,06
0,28
2320
Поликремний
(poly Si)
169 69 0,22 2100
Карбид
кремния (SiC)
<001>
<011>
<010>
270
350
270
103
162
103
0,31
0,08
0,31
3200
2.2. Момент инерции сечения
Осевым моментом инерции сечения относительно данной оси называется
сумма произведений элементарных
площадей dА на квадрат их расстояний до
данной оси
(например, х или у), которая распространяется на всю площадь се-
чения А. Так, осевые моменты инерции (рис. 2.4) относительно осей х и у рав-
ны [3]:
=
A
x
dAyJ
2
; (2.18)
=
A
y
dAxJ
2
. (2.19)
Полярным моментом инерции сечения относительно данной точки (по-
люс О) называется сумма произведений элементарных площадей dА на квадра-
ты их расстояний до этой точки, которая распространяется на всю площадь се-
чения А. Следовательно,
=
A
dAJ
2
ρ
ρ
. (2.20)
Осевые и полярный моменты инерции всегда положительны и выражают-
ся в см
4
или м
4
.
Отметим интересное свойство: полярный момент инерции
равен сум-
ме осевых моментов инерции
ρ
J
x
J
и относительно любой пары взаимно пер-
пендикулярных осей х и у, проходящих через полюс О.
y
J