Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 19 стр.

UptoLike

19
12
3
hw
x
J
=
; (2.27)
12
3
wh
y
J
=
, (2.28)
где ширина балки. w
Рис. 2.7. Виды сечения балки
Центробежный момент инерции
0
=
xy
J
, так как оси x и y являются осями
симметрии.
с треугольным:
36
3
hw
x
J
= ; (2.29)
48
3
wh
y
J
= . (2.30)
Центробежный момент инерции
0
=
xy
J
, так как оси x и y являются осями
симметрии.
с круглым:
4
05.0 D
y
J
x
J =
; (2.31)
4
1.0 DJ
ρ
, (2.32)
где
D
диаметр балки.
2.3. Жесткость микромеханических элементов при изгибе
На рис. 2.8 приведена структура консольной балки.
Под действием внешней силы консольная балка отклоняется от
первоначального положения. По закону Гука, силе , действующей на
балку, будет противодействовать сила упругости , равная по модулю
внешней силе и противоположная по направлению:
внеш
F
внеш
F
упр
F