Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 21 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

⋅

. (2.39)

Рассмотрим структуру гребенчатого электростатического актюатора

(рис. 2.10.).

Под действием силы ротор отклоняется от первоначального положе-

ния. По закону Гука, силе , действующей на ротор, будет противодейство-

вать сила упругости упругого подвеса, равная по модулю внешней силе и

противоположная по направлению:

эл

упр

эл

⋅

−

= , (2.40)

где

– жесткость упругого подвеса; – перемещение, совершаемое упругим

подвесом под действие силы .

эл

Непосредственно жесткости балок 1-8 (см. рис.2.10) определяются с по-

мощью выражения (2.39).

Как видно на рис. 2.10, упругий подвес образован четырьмя последова-

тельно соединенными парами балок: 1-2, 3-4, 5-6, 7-8, причем консольные бал-

ки в парах соединены параллельно.

Рис. 2.9. Модель движения консольной балки