Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 22 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

22
статорякорь
якорьякорь
балка
ротор
A
A
A - A
балка
подложка
подложка
1
2
3
4
5
6
7
8
Рис. 2.10. Структура гребенчатого электростатического актюатора
Таким образом, жесткости пар параллельно соединенных консольных ба-
лок определяется следующими выражениями [5]:
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪
⎩
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪
⎨
⎧
+
⋅
=
+
⋅
=
+
⋅
=
+
⋅
=
.
87
87
4
;
65
65
3
;
43
43
2
;
21
21
1
kk
kk
пар
k
kk
kk
пар
k
kk
kk
пар
k
kk
kk
пар
k
(2.41)
где – жесткости балок упругого подвеса.
81
kk ÷
Жесткости последовательно соединенных пар консольных балок опреде-
ляется выражениями [5]:

Страницы