Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 23 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

23
⎪
⎩
⎪
⎨
⎧
+=
+
=
.
432
;
211
пар
k
пар
k
посл
k
пар
k
пар
k
посл
k
(2.42)
Жесткость упругого подвеса гребенчатого электростатического актюато-
ра определяется с помощью следующего выражения:
21 посл
k
посл
k
s
k
+
= . (2.43)
2.4. Жесткость микромеханических элементов при сдвиге (кручении)
Электростатический крутящий момент силы, действующий на торсион-
ную балку, определяется следующим выражением:
l
эл
F
эл
M ⋅=
, (2.44)
где
l
– расстояние от торсионной балки до точки приложения внешней силы.
Под действием электростатического крутящего момента силы зер-
кальный элемент отклоняется от первоначального положения за счет кручения
торсионной балки. Согласно закону Гука:
эл
M
γ
γ
⋅
= k
эл
M
, (2.45)
где
γ
k
– угловая жесткость торсионной балки;
γ
– угол поворота торсионной
балки под действием крутящего момента силы .
эл
M
Угловая жесткость торсионной балки определяется следующим выраже-
нием:
b
l
JG
k
ρ
γ
⋅
⋅= 2
, (2.46)
где – длина торсионной балки.
b
l
2.5. Демпфирование колебаний микромеханических элементов
Демпфирование колебаний мембраны осуществляется за счет перетека-
ния вязкой среды (газа или жидкости) из подмембранной полости через калиб-
ровочные отверстия. На рис. 2.11 показано одно из таких отверстий.
Рис. 2.11. К определению абсолютного коэффициента демпфирования

Страницы