ВУЗ:
Составители:
25
где
– число калибровочных отверстий.
0
n
3. АКТЮАТОРНЫЕ КОМПОНЕНТЫ МСТ
Актюатор – это исполнительное устройство, которое
преобразовывает те-
пловую, электрическую и магнитную энерги
и в механическое движение. Ак-
тюаторные компоненты имеют размеры от нескольких квадратных микромет-
ров до одного квадратного сантиметра.
Актюаторные компоненты микросистемной техники в настоящее время
применяются почти во всех областях человеческой деятельности: в авиакосми-
ческой промышленности, в автомобилестроении, в робототехнике, в
медицине
и т.д.
3.1. Интегральные микромеханические реле
Интегральные микромеханические реле находят широкое применение в
миниатюрных робототехнических системах в качестве логических элементов.
В настоящее время разработано достаточно большое количество микро-
механических реле, изготавливаемых из алюминия и золота, что сужает облас-
ти их применения, т.к. металлические реле более чувствительны к ускорению,
чем микромеханические реле, выполненные из полупроводниковых материа-
лов. Кроме того, при изготовлении интегральных микромеханических реле из
металла необходимо использовать один жертвенный слой, что затрудняет их
изготовление в одном технологическом процессе совместно с другими элемен-
тами МСТ и ИС [7, 8].
Микромеханические реле, в которых в качестве структурного материала
используется поликремний, изготавливаются с помощью технологии поверхно-
стной микрообработки, что, в свою
очередь, позволят интегрально изготавли-
вать их в одном технологическом процессе совместно с другими элементами
МСТ и ИС.
Большинство микромеханических реле, в качестве подвижного элемента,
содержат консольную балку. Область, к которой непосредственно присоедине-
на консольная балка, принято называть истоком. Область, расположенная под
консольной балкой и используемая для создания электростатической силы, на-
зывается затвором. Область, с которой происходит механический контакт кон-
сольной балки при ее отклонении от первоначального положения, за счет дей-
ствия электростатической силы, называется областью стока.
На рис. 3.1 приведена структура интегрального микромеханического ре-
ле.
Интегральные микромеханические реле могут работать в нормальном и
инверсном режимах.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 23
- 24
- 25
- 26
- 27
- …
- следующая ›
- последняя »