Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 26 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 3.1. Структура интегрального микромеханического реле:

1 –подложка; 2 – диэлектрик; 3 –область истока;

4 – консольная балка; 5 – область затвора; 6 – область стока

На рис. 3.2 приведены условные обозначения и схемы подключения мик-

ромеханического реле при нормальном и инверсном режимах работы.

При нормальном режиме работы область стока подключена к шине пита-

ния, а область истока – к шине

нулевого потенциала. В отсутствие отклоняю-

щего напряжения между областью затвора и консольной балкой, последняя на-

ходится в исходном положении и электрический контакт исток-сток

отсутствует. Интегральное микромеханическое реле находится в разомкнутом

состоянии. При подаче отклоняющего напряжения на область затвора относи-

тельно консольной балки, между ними возникает электростатическая сила, ко-

торая притягивает

консольную балку к затвору. Это приводит к возникновению

электрического контакта между истоком и стоком. Микромеханическое реле

находится в замкнутом состоянии.

При инверсном режиме работы область истока подключена к шине пита-

ния, а область стока – к шине нулевого потенциала. При отсутствии отклоняю-

щего напряжения между областью затвора и консольной балкой, соединенной

областью истока, возникает электростатическая сила, которая притягивает кон-

сольную балку к затвору. Это приводит к возникновению электрического кон-

такта между истоком и стоком. Интегральное микромеханическое реле замкну-

то. При подаче отклоняющего напряжения между затвором и консольной

балкой, последняя возвращается в исходное положение. Микромеханическое

реле находится в разомкнутом состоянии.