Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 26 стр.

UptoLike

26
Рис. 3.1. Структура интегрального микромеханического реле:
1 –подложка; 2 – диэлектрик; 3 –область истока;
4 – консольная балка; 5 – область затвора; 6 – область стока
На рис. 3.2 приведены условные обозначения и схемы подключения мик-
ромеханического реле при нормальном и инверсном режимах работы.
При нормальном режиме работы область стока подключена к шине пита-
ния, а область истокак шине
нулевого потенциала. В отсутствие отклоняю-
щего напряжения между областью затвора и консольной балкой, последняя на-
ходится в исходном положении и электрический контакт исток-сток
отсутствует. Интегральное микромеханическое реле находится в разомкнутом
состоянии. При подаче отклоняющего напряжения на область затвора относи-
тельно консольной балки, между ними возникает электростатическая сила, ко-
торая притягивает
консольную балку к затвору. Это приводит к возникновению
электрического контакта между истоком и стоком. Микромеханическое реле
находится в замкнутом состоянии.
При инверсном режиме работы область истока подключена к шине пита-
ния, а область стокак шине нулевого потенциала. При отсутствии отклоняю-
щего напряжения между областью затвора и консольной балкой, соединенной
с
областью истока, возникает электростатическая сила, которая притягивает кон-
сольную балку к затвору. Это приводит к возникновению электрического кон-
такта между истоком и стоком. Интегральное микромеханическое реле замкну-
то. При подаче отклоняющего напряжения между затвором и консольной
балкой, последняя возвращается в исходное положение. Микромеханическое
реле находится в разомкнутом состоянии.