Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 27 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 3.2. Условные обозначения реле

при нормальном и инверсном режимах работы:

а – нормальный режим работы;

б – инверсный режим работы

3.2. Оптические компоненты МСТ с электростатической

активацией

3.2.1. Микрозеркала с электростатическими актюаторами

Интегральные микрозеркала с электростатической активацией находят

широкое применение в миниатюрных робототехнических системах (в качестве

оптических ключей) и системах анализа и обработки изображений (для откло-

нения лазерного луча и/или светового потока) [9, 10].

На рис. 3.3 приведена структура интегрального микрозеркала с электро-

статической активацией, изготавливаемого по технологии поверхностной мик

рообработки.

При подаче напряжения на один из отклоняющих электродов, между ним

и структурой микрозеркала возникает электростатическая сила, которая притя-

гивает микрозеркало к отклоняющему электроду. Когда отклоняющее напря-

жение убирается, микрозеркало под действием силы упругости возвращается в