Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 11 стр.

UptoLike

11
Рис.1.3. Схема организации системы обратной связи зондового микроскопа [1].
Система обратной связи поддерживает значение параметра Р
постоянным, равным величине Ро, задаваемой оператором. Если
расстояние зонд поверхность изменяется (например, увеличивается), то
происходит изменение (увеличение) параметра Р. В системе ОС
формируется разностный сигнал, пропорциональный величине ΔP = P - Po,
который усиливается до нужной величины и подается на исполнительный
элемент ИЭ. Исполнительный элемент отрабатывает данный разностный
сигнал, приближая зонд к поверхности или отодвигая его до тех пор, пока
разностный сигнал не станет равным нулю. Таким образом можно
поддерживать расстояние зонд-образец с высокой точностью. В
существующих зондовых микроскопах точность удержания расстояния
зонд-поверхность достигает величины ~ 0.01 Å.
При перемещении зонда вдоль поверхности образца происходит
изменение параметра взаимодействия Р, обусловленное рельефом
поверхности. Система ОС отрабатывает эти изменения, так что при
перемещении зонда в плоскости X,Y сигнал на исполнительном элементе
оказывается пропорциональным рельефу поверхности.