Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 14 стр.

UptoLike

14
Рис. 1.4. Схема оптической регистрации изгиба консоли зондового датчика АСМ [1].
Действительно, разность токов вида
пропорциональна изгибу консоли под действием силы, действующей
по нормали к поверхности образца (рис. 5(а)). А комбинация разностных
токов вида
характеризует изгиб консоли под действием латеральных сил
ис. 1.5(б)).
Рис. 1.5. Соответствие между типом изгибных деформаций консоли зондового датчика
и изменением положения пятна засветки на фотодиоде [1].
Величина DI
Z
используется в качестве входного параметра в петле
обратной связи атомно-силового микроскопа (рис. 1.6). Система обратной
связи (ОС) обеспечивает DI
Z
= const с помощью пьезоэлектрического