Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 44 стр.

UptoLike

44
Поскольку исследование морфологии электроосаждённых образцов в
сканирующем электронном микроскопе проводится при высоком вакууме
в рабочей камере (p ~ 10
-5
Торр), то основным требованием
пробоподготовки является чистота как исследуемой поверхности, так и
образца в целом. Для этого подложку с электролитическим осадком перед
помещением в рабочую камеру микроскопа тщательно промывают
дистилированной водой, этиловым спиртом и высушивают. Если остатки
электролита полностью не удалить с образца, то они под действием
электронного пучка будут нагреваться, испаряться и загрязнять детали,
расположенные внутри колонны электронного микроскопа. Это приведёт
к ухудшению вакуума и, как следствие, к искажению получаемого
изображения. Кроме того, остатки электролита являются материалом
слабопроводящим электрический ток. Поэтому, под действием
электронного пучка они способны электризоваться и взаимодействовать с
пучком, отклоняя его от точки сканирования. Это также приводит к
ухудшению изображения и нарушению его контрастности.