Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур. Вдовичев С.Н.

В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установках. Приведены схемы компоновки вакуумных систем и изложены принципы построения вакуумных систем. Изложены современные методы нанесения тонких пленок и основы теории механизма роста пленок напыляемого материала на подложке.Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов ННГУ, обучающихся по направлению подготовки 011800.62 "Радиофизика", профиль "Электроника, микро- и наноэлектроника" и профиль "Квантовая радиофизика и квантовая электроника", проходящих курс Учебно-научного эксперимента, и по направлению подготовки 011800.68 "Радиофизика", магистерская программа "Физическая электроника", изучающих курсы "Физика сверхпроводников" и "Физика магнетизма".