Измерение температуры активных областей полупроводниковых приборов. Новоселов В.В - 11 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

1 2 3 4 5

6 7

Рисунок 1. Принципиальная схема измерительного инфракрасного микро-

скопа.

Основной частью инфракрасной оптической системы является объек-

тив. Лучшее качество изображения даёт объектив, составленный из двух

линз, имеющих различные коэффициенты преломления (например, Si + Ge,

LiF + Si). Оптическая система может быть изготовлена также и на основе

зеркальной оптики. Применение зеркальной оптики позволяет получить бо-

лее чёткое изображение предметов в инфракрасных лучах, так как зеркаль-

ные объективы работают одинаково хорошо на всех длинах волн.

Наиболее важной частью инфракрасной системы является приёмник

инфракрасного излучения. Спектральные характеристики, форма и размер

чувствительной площадки, быстродействие, внутреннее сопротивление и по-

роговая чувствительность в значительной степени определяют интервал из-

меряемой температуры, геометрические размеры исследуемого объекта или

его областей, точность измерения, возможность измерения переходных теп-

ловых характеристик и т. д. Чувствительность инфракрасной системы в зна-

чительной степени определяется собственными шумами приёмника.

Излучение, сфокусированное оптической системой, подаётся на тепло-

вой приёмник последовательно от различных участков поверхности иссле-

дуемого объекта. Для этого используется система сканирования. Система