Измерение температуры активных областей полупроводниковых приборов. Новоселов В.В - 12 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

сканирования представляет собой диск с прорезями, насаженный на вал элек-

тродвигателя. При вращении диска сквозь прорези в оптическую систему по-

следовательно попадает излучение с различных участков поверхности. Сиг-

нал, преобразованный тепловым приёмником в электрический, поступает на

вход электронной схемы для усиления. С выхода электронной схемы усили-

теля сигнал подаётся на измерительный прибор. В качестве измерительного

прибора используется осциллограф или самопишущий вольтметр. Измери-

тельный прибор служит для регистрации и измерения характеристик темпе-

ратурного поля. Для регистрации двумерного поля измерительный прибор

синхронизируется с механизмом развёртки. Часто используются дисплеи, на

экранах которых отображается температурное поле исследуемой поверхно-

сти. На участках с повышенной температурой яркость свечения зачастую по-

вышена и наоборот.

Тепловые картины, полученные с помощью инфракрасных микроско-

пов, для измерения температур различных участков расшифровываются. Не-

обходимость расшифровки заключается в том, что интенсивность инфра-

красного излучения зависит не только от температуры, но и от коэффициента

излучательной способности, который может оказаться существенно различ-

ным на поверхности кристалла интегральной схемы или полупроводникового

прибора (участки с различной химической обработкой, золотой или алюми-

ниевой металлизацией и другие особенности). В ходе расшифровки тепловое

поле исследуемой поверхности сравнивают с полем некоторого эталонного

образца или с полем той же поверхности, но имеющим специальное покры-

тие (тонкий слой газовой сажи, кремнийорганическая эмаль).