ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
27
Уравнения (42) и (43) позволяют определить угловое расстояние
между двумя соседними экстремумами. Действительно, решая
совместно, например, уравнения (42), заданные для m-ного и m+1-ого
экстремума, нетрудно получить зависимость
2
2
0
2
1m0
2
m0
d
4
)1m2()()(
λ
+=ϕ−ϕ
+
. (45)
Из (45) следует, что угловое расстояние между экстремумами
уменьшается с толщиной d слоя. Поэтому названное расстояние
поставляет достаточную информацию для определения толщины
покрытий.
Экспериментально интерференционную картину для
отраженного излучения слоя на подложке впервые наблюдал Киссиг
[12] и поэтому максимумы и минимумы этой картины называются
киссиговскими.
Отражательная способность рассматриваемой системы может быть
рассчитана теоретически [Ошибка! Закладка не определена.,13] и
определяется отражательной способностью слоя и подложки, или, в
конечном счете, величиной угла скольжения ϕ
0
при заданном
элементном составе слоя и подложки. Зависимость отражательной
способности I / I
0
системы слой-подложка от угла скольжения ϕ
0
представлена на рис.7, взятом из работы [14].
Из рис.7 следует, что отражательная способность быстро падает
с ростом угла скольжения. Экстремальные значения, обусловленные
интерференцией, существенно отличаются от средней величины,
рассчитанной для массивного кобальтового образца.
В случае, рассмотренном на рис.7, подложка является оптически
более плотной средой по сравнению с материалом слоя. Но
интерференционные максимумы и минимумы Киссига наблюдаются
также и при оптически более плотном материале слоя.
Проведенное рассмотрение слоя на подложке позволяет сделать
заключение о возможности интерференции рентгеновского излучения
при многослойных структурах, состоящих из различных слоев,
материал которых изотропен и однороден. Границы раздела слоев
предполагаются параллельными друг другу, а также поверхности
подложки. Такие слоистые структуры обычно являются
последовательностью двойных слоев толщиной d
1
и d
2
с альтернативно
низким и высоким коэффициентами преломления n
1
и n
2
. Таким
образом, толщина каждого двойного слоя есть сумма d=d
1
+d
2
.
Особенностью периодических многослойных структур является
отражение падающего на них рентгеновского излучения по закону
Вульфа-Брэгга. Схема отражения для таких структур представлена на
PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com
Уравнения (42) и (43) позволяют определить угловое расстояние между двумя соседними экстремумами. Действительно, решая совместно, например, уравнения (42), заданные для m-ного и m+1-ого экстремума, нетрудно получить зависимость λ20 (ϕ0 ) m − (ϕ0 ) m +1 = (2m + 1) 2 . 2 2 (45) 4d Из (45) следует, что угловое расстояние между экстремумами уменьшается с толщиной d слоя. Поэтому названное расстояние поставляет достаточную информацию для определения толщины покрытий. Экспериментально интерференционную картину для отраженного излучения слоя на подложке впервые наблюдал Киссиг [12] и поэтому максимумы и минимумы этой картины называются киссиговскими. Отражательная способность рассматриваемой системы может быть рассчитана теоретически [Ошибка! Закладка не определена.,13] и определяется отражательной способностью слоя и подложки, или, в конечном счете, величиной угла скольжения ϕ0 при заданном элементном составе слоя и подложки. Зависимость отражательной способности I / I0 системы слой-подложка от угла скольжения ϕ0 представлена на рис.7, взятом из работы [14]. Из рис.7 следует, что отражательная способность быстро падает с ростом угла скольжения. Экстремальные значения, обусловленные интерференцией, существенно отличаются от средней величины, рассчитанной для массивного кобальтового образца. В случае, рассмотренном на рис.7, подложка является оптически более плотной средой по сравнению с материалом слоя. Но интерференционные максимумы и минимумы Киссига наблюдаются также и при оптически более плотном материале слоя. Проведенное рассмотрение слоя на подложке позволяет сделать заключение о возможности интерференции рентгеновского излучения при многослойных структурах, состоящих из различных слоев, материал которых изотропен и однороден. Границы раздела слоев предполагаются параллельными друг другу, а также поверхности подложки. Такие слоистые структуры обычно являются последовательностью двойных слоев толщиной d1 и d2 с альтернативно низким и высоким коэффициентами преломления n1 и n2. Таким образом, толщина каждого двойного слоя есть сумма d=d1+d2. Особенностью периодических многослойных структур является отражение падающего на них рентгеновского излучения по закону Вульфа-Брэгга. Схема отражения для таких структур представлена на 27 PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 25
- 26
- 27
- 28
- 29
- …
- следующая ›
- последняя »