Материаловедение поверхности и тонких пленок. Пичугин В.Ф. - 135 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

135
поверхности в это время
95.0
tN
или
32
~ GN
. Если средний диаметр
зерна l
g
, число зерен на единицу поверхности пропорционально
1
2
4
g
l
, приравнивая члены имеем,
31
9.0 NGl
g
. (5.89)
То, что размер зерна прямо пропорционален
G
и обратно
пропорционален
N
, является фундаментальной идеей, общей как для
объема (т.е., плавка, рекристаллизация металлов) так и для тонких
пленок.
Подобным образом, Томсон [31], используя уравнение Аврами,
моделировал процесс объединения кластеров и рост с позиций
коалесценции. Существенно то, что связывание происходило между
зернами при соударении кластеров и практически касалось сжатия
пленки и ее текстуры. Модель предполагала подложку, содержащую
куполообразные кластеры как представленные на рис. 5.16 так, чтобы,
при наблюдении сверху, каждый круговой островок был окружен
круговым кольцом шириной X на подложке, состоящем из адатомов.
Эти представления как видно из уравнения 5.72 увеличивают островок
скорее, чем формируют новый зародыш. Результирующие размеры
зерен пленки зависят от X и определяются уравнением
31
203.1351.1 NGXl
g
. (5. 90)
При условии
> X, уравнения 5.89 и 5.90 по существу
одинаковые.
Следует заметить, что уравнение Аврами строго справедливо для
закрытых систем, преобразующихся при условиях, когда отсутствует
обмен материалом с окружением. Включение кольца адатомов
очевидно расширяет обоснованность уравнений для открытых систем.
Доступность и легкость уравнения Аврами в трехмерном случае может
быть найдена в работах Тю и др. [31].
Задачи для самостоятельной работы к главе 5
5.1. Структура слоя адатомов на плотноупакованной поверхности
подложки, например, на (111) плоскости, где атомы имеют
гексагональную упаковку (31/2Ч31/2)R 30°. Начертите качественно
позиции адатомов и атомов подложки для ланного случая.
5.2. Пленка осаждается на подложку посредством испарения. В уравнении для
скорости гетерогенного зародышеобразования (5.75) установите какие члены
прежде всего находятся под влиянием следующих факторов:

Страницы