Проектирование и технология микросхем. Романова М.П. - 31 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

30
Для ба зов о й диффузионной област и
1.4.3. Расче т ширины и длины резистора
Исходными данными для определения геометрических ра змер ов резистора
являются: номина л R и допуск на но м и нал γ
R
= ∆R/R, удельное поверхностное
с о пр от ив ле ни е p
s
, средняя мо щ нос ть расс ея ния Р, допустимая мо щ ност ь рас-
сеяния P
0
= 1-5 Вт/мм
2
, минимальный га ба р ит н ы й ра зме р ре з ист ор а, опреде-
ляемый ра зреша ю ще й способностью технологии, температурный диапазон
работы резистора: Т
МAX
и Т
МIN
, а также другие к онстру кт орс ко - технологиче-
ские ограничения и рекомендации дл я прое кт ирова ния . В с оот ветст вии с но-
миналом R выбирается определенная конфигурация резистора. Для высоко ом-
ных резисторов (1-10 кО м) рекомендуются конфигу рации, приведенные на
рис. 1.12, а,б, дл я низкоомных ре зист ор ов (50 -200 Ом) - конфигу рация, по ка-
занная на рис.1.12,г, для резисторов с но м и на л о м от 200 Ом до 1 кОм - конфи-
гу ра ция, с оот ветствующая из об раже нно й на рис. 1.12, в.
Расчет ре зист о ров начинают с определения ширины ре з ист ора . За расче тное
значение ширины резистора b
рас
принимают на и бо ль ше е значение из значе-
ний (b
техн
, b
то ч н
, b
p
}, где b
техн
- минимальная технологическая ширина резистора.
b
техн
>
=
(4-5) мк м ; b
Р
- шир ина , определяемая мо щн остными хара ктер истикам и
резистора; b определяют в с оот ветствии сущест вующими допусками.
Таким образом, b
р
> = {b
техн
, b
то ч н
, b
Р
}.
Полная от нос ите ль ная по г ре ш нос ть величины сопротивления определяется
су ммо й погрешностей γ
R
=γ
КФ
+γ
ps
+γ
T
, что с оответстве нно важ но представить ка к
где К
Ф
- коэффициент формы резистора, определяемый ка к
есть относительная погрешность коэффициента
фор мы резистора;
γ
pS
=
∆ R/R - относительная по гр ешн о сть во сп ро и звед ен и я
уд ельн о го по ве р хн о стно г о сопротивления (для типо вых технологических пр о -
цессо в п ланар но - эпи таксиально й технологии она обычно со ставля ет 0,05- 0 ,1 ;
α
R
-
темп ер ату рный ин тер вал работы резистора, определяемый ка к
∆Т= T
MAX
- T
MIN
, относительная темп ер атур н ая погрешность
γ
т
=
α
R
* ∆ T.
Находят относительную по г р еш но сть коэффициента формы

Страницы