Сборка и монтаж интегральных микросхем. Романова М.П. - 64 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

64
обходимо снять окисный слой со всей партии базовых кристаллов и повторить
операцию оксидирования вновь в откорректированном режиме.
Производственный контроль качества ИС по скрытым дефектам представляет
собой задачу более сложную, чем контроль по явным дефектам. Если контроль по
явным дефектам есть измерение показателей качества изделия в момент производ-
ства или сразу после его окончания, то контроль по скрытым дефектам есть уста-
новление гарантированности качества через интервал времени в будущем. Пассив-
ный контроль по скрытым дефектам подразделяется на статистический
и провокационный.
ИС высокого уровня надежности представляют собой наиболее сложный объект
для статистического пассивного контроля. При вероятности безотказной работы
близкой к единице, требуются непомерно большие, экономически неоправданные
или нереальные объемы выборок, предъявляемых на испытания. Кроме того, га-
рантийная долговечность обычно так велика, что натурные испытания будут дол-
гими и информация поступит слишком поздно. По этой причине статистический
пассивный контроль по скрытым дефектам для ИС специального применения не
распространен.
Значительное сокращение времени испытаний можно получить при провокаци-
онном пассивном контроле. ИС испытываются в форсированном режиме и при
усиленных воздействиях окружающей среды, т. е. провоцируются скрытые
дефекты.
Применяют ступенчатый характер воздействий с целью максимальной активи-
зации механизмов отказа. Ускоренные программы, соответствующие определен-
ному сроку хранения и работы ИС, должны составляться для каждого конкретного
типа ИС отдельно.
Будем различать два вида провокационного пассивного контроля: критериаль-
ный и отсевный. Критериальный контроль для ИС специального применения имеет
ограниченное использование из-за необходимости знать зависимость между крите-
риями надежности в нормальном и форсированном режимах для ИС данного типа.
Если такая зависимость известна, то, проведя испытания в форсированном режиме
в течение t
и
< t
г
(где t
и
– время испытания, t
г
– гарантированная
долговечность), можно с ограниченной достоверностью судить о надежности ИС в
нормальном режиме за время t
г
.
Достоверность такой оценки ограничена реальными отклонениями технологи-
ческих режимов и параметров используемых материалов. Действительно, за время,
прошедшее с тех пор, когда была установлена применяемая в расчетах зависи-
мость, могли произойти изменения технологических режимов и материалов, не вы-
зывающие появления дополнительных явных дефектов, но влияющих
на надежность.
Отсевный провокационный пассивный контроль надежности предусматривает
циклическое воздействие механических усилий, перепадов температуры и т. п. при
100 % - ном контроле партии. Он позволяет отсеивать наименее надежные экземп-
ляры ИС. Значение и характер перегрузок должны быть такими, чтобы испытания
не приводили к износу, к ухудшению выдерживающих контроль ИС. Поэтому оп-

Страницы