Сборка и монтаж интегральных микросхем. Романова М.П. - 62 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

62
пооперационного пассивного контроля имеет значение расстановка контрольных
мест в производственном цикле. Вряд ли рентабельно сортировать продукцию по-
сле каждой операции. Расстановка контрольных мест может смещаться в зависи-
мости от усовершенствования и автоматизации тех или иных операций.
Выходной пассивный контроль ведется по электрическим параметрам, огово-
ренным в ТУ. По некоторым параметрам (например, температурный коэффициент)
контроль может быть периодическим, т. е. отбор ИС из выпускаемой продукции
производят в случайные моменты времени.
Чем более высокое качество заложено в ИС при проектировании, т. е. чем
больше предусмотрена избыточность по всем параметрам, тем более высоким
можно ожидать выход годных. Тогда в пределах запаса случайные отклонения от
изделия к изделию не будут выводить их за допустимые границы.
Диагностика явных дефектов предполагает детальное, тщательное изучение ИС
или полуфабрикатов, забракованных при пассивном контроле. Проводится все-
стороннее изучение природы самого дефекта или вызвавших его других предшест-
вующих дефектов, исследование механизмов их образования и развития. Здесь мо-
гут быть использованы как прямые, так и косвенные методы. К прямым методам
диагностики относится, например, фотографирование дефектной зоны в скани-
рующем неразрушающем электронном микроскопе. Фотография позволяет рас-
смотреть микротрещину с увеличением 10 000 в зоне над ступенькой окисла. В
приведенном примере удалось установить, что резкий край ступеньки окисла вы-
звал в этом месте неравномерную конденсацию алюминия при вакуумтермическом
осаждении. В результате развились внутренние механические напряжения и про-
изошло растрескивание.
Косвенные методы диагностики явных дефектов основаны на аномалиях тепло-
вых или электростатических полей, присущих дефектным ИС. При этом предпола-
гается, что исследуемые ИС допускают подключение к питающему направлению.
Тогда дефектный участок, который необходимо обнаружить, выявляет себя дефор-
мацией теплового поля. Невозможно измерять температуру в различных точках ИС
с помощью термопар из-за искажающего влияния массы термопары и проводов,
поэтому один из способов неконтактной регистрации теплового поля состоит в
применении радиометров, чувствительных к инфракрасному излучению. Инфра-
красные лучи испускаются всеми телами в соответствии с законами, связывающи-
ми спектральную полосу и длину волны максимума излучения с температурой и
лучеиспускательной способностью поверхности тела. Сигнал на выходе скани-
рующего радиометра пропорционален мгновенному значению мощности излуче-
ния наблюдаемой элементарной площадки. Выходной сигнал можно наблюдать в
виде термограммы – фотографии телевизионного изображения с яркостной моду-
ляцией терморельефа наблюдаемой поверхности. Работа исследователей сводится
к изучению термограмм и к сравнению их с эталонными термограммами, отра-
жающими исправное состояние ИС или ситуацию при заранее известных дефектах
ИС данного типа. В результате сравнения определяется расположение дефектных
участков.
Известен способ наблюдения неоднородностей теплового поля с помощью
пленки холестериновой жидкости, которой смачивают исследуемую поверхность.

Страницы